電子級磷酸屬于高純磷酸，是電子行業(yè)使用的一種超高純化學試劑，屬于電子化學品系列產(chǎn)品之，是電子工業(yè)不可替代的無機化工產(chǎn)品。電子級磷酸廣泛用于大規(guī)模集成電路、薄膜液晶顯示器等微電子工業(yè)，主要用于芯片的清洗和蝕刻，其純度和潔凈度對電子、元器件的成品率、電性能及可靠性有很大影響。而環(huán)境控制是電子級磷酸項目的質(zhì)量保障體系之一，具有十分重要作用。大氣中所含塵埃和多雜質(zhì)，會對高純度的電子級磷酸產(chǎn)品造成污染，因此必須在產(chǎn)品制備過程中和分析檢測過程中，對各個環(huán)節(jié)可能接觸的污染空氣進行潔凈化處理，達到相應的潔凈度要求。除工藝空氣必須經(jīng)物理和化學方法凈化，以免帶入固體微粒等雜質(zhì)外，生產(chǎn)車間、輔助車間、實驗室等都有清潔度要求。由于電子級磷酸質(zhì)量不僅與生產(chǎn)工藝有關，而且與超凈生產(chǎn)環(huán)境密切相關。因此必須在產(chǎn)品制備過程和分析檢測過程中，對各個環(huán)節(jié)可能接觸的污染空氣進行潔凈化處理，達到相應的潔凈度要求。凈化空調(diào)系統(tǒng)設計一、空調(diào)負荷空調(diào)負荷主要由圍護結構傳熱、人體散熱、室內(nèi)照明散熱、室內(nèi)設備散熱、室內(nèi)散濕過程產(chǎn)生的潛熱和新風負荷等部分組成。經(jīng)計算，本工程夏季空調(diào)系統(tǒng)耗冷量為214kW，選用一臺制冷量為226. 4kW水冷螺桿式冷水機組；冬季空調(diào)系統(tǒng)耗熱量為345kW，熱源由廠區(qū)鍋爐房提供。二、換氣次數(shù)根據(jù)《潔凈廠房設計規(guī)范》中提出的換氣次數(shù)與潔凈度的關系，ISO Class6潔凈度要求的換氣次數(shù)為50~60次/h，...
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一、醫(yī)藥潔凈空調(diào)潔凈度設計潔凈室是室內(nèi)空氣潔凈度達到一定級別的房間，空氣潔凈級別依據(jù)每立方米空氣中的微粒數(shù)來確定。各個國家對空氣潔凈級別的劃分有不同的標準?！端幤飞a(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范》規(guī)定一萬級潔凈區(qū)每立方米空氣中0.5μm塵粒數(shù)≤350000，≥5μm塵粒數(shù)2000，浮游菌數(shù)≤100，沉降菌數(shù)≤3/皿；十萬級潔凈區(qū)每立方米空氣中≥0.5μm塵粒數(shù)≤3500000，≥5μm塵粒數(shù)≤20000，浮游菌數(shù)≤500，沉降菌數(shù)≤10/皿。凈化空調(diào)系統(tǒng)通過對空氣進行凈化處理(過濾)以達到規(guī)定的潔凈級別要求。以前較常見的做法是：只給主要房間送風，其余房間利用其回風或由潔凈走廊回風，房間頂部布置回風口。這種方法施工方便，但造成各房間交叉污染。初效過濾器、中效過濾器置于空調(diào)機組內(nèi)，高效過濾器(或亞高效)置于各房間頂部(若吊頂空間不夠也可置于房間上側(cè)面)，由房間下側(cè)部回風。各房間(包括潔凈走廊)均設置送回(排)風口，上送下側(cè)回(排)。這種氣流組織方法利于單獨調(diào)整各房間的正壓，減少各房間之間的影響，系統(tǒng)潔凈度提高。二、醫(yī)藥潔凈空調(diào)溫濕度設計醫(yī)藥潔凈廠房據(jù)產(chǎn)品品種、潔凈級別、運行班次、使用時間等劃分為不同的潔凈空調(diào)系統(tǒng)，潔凈室的溫度一般控制在18~26℃，相對濕度控制在45%~65%，常采用一次回風處理方案。其處理方法和具體計算與一般舒適空調(diào)有所不同，加上每個系統(tǒng)房間較多，各個房間熱濕負荷不同，設計時較難兼...
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一、醫(yī)藥廠房潔凈區(qū)內(nèi)部污染的產(chǎn)生醫(yī)藥廠房潔凈區(qū)內(nèi)有大量的工藝設備、運輸工具及工作人員，這些工藝設備、運輸工具、人員本身會產(chǎn)生粉塵、濕熱氣體、異味及細菌等污染物，構成了潔凈區(qū)內(nèi)的污染源?？刂茲崈魠^(qū)內(nèi)部污染物的擴散，也是醫(yī)藥廠房潔凈空調(diào)設計的重要內(nèi)容。二、控制醫(yī)藥廠房潔凈區(qū)內(nèi)部污染方式探討1.產(chǎn)生粉塵房間的污染控制藥品生產(chǎn)過程中有許多工序可能產(chǎn)生粉塵，如粉碎篩分、制粒、膠囊充填等工序，如果這些房間空調(diào)氣流組織不合理，會造成粉塵擴散，從而影響到該房間空氣潔凈度。以粉碎間為例，設計中送、排風口可能有幾種布置方式：方案A投料口的粉塵可能會隨氣流擴散至整個房間，導致房間潔凈度超標；方案B通過局部排風罩，雖可以有效控制投料口的產(chǎn)塵，但可能使局部排風罩上形成氣流死角，造成新的積塵點，產(chǎn)生新的污染源；方案C在靠近投料口側(cè)墻上部和房間側(cè)墻底部均設置排風口，可有效控制投料口和出料口的粉塵擴散，防止其污染房間其他區(qū)域。綜上所述，方案C既可以防止粉塵擴散，又不影響房間的氣流組織，應為最佳方案。2.產(chǎn)生濕熱氣體房間的污染控制制藥生產(chǎn)線潔凈區(qū)同時還有部分工序會產(chǎn)生濕熱氣體，這些房間很可能因為濕熱氣體的散發(fā)，使?jié)崈魠^(qū)內(nèi)的溫、濕度長期無法滿足設計要求。因此，在設計中必須考慮快速將房間中的濕熱氣體排走，如果我們按普通潔凈區(qū)做法，采用上送下側(cè)回的方式，會造成以下幾個問題：(1)濕熱氣體無法快速被排走，潔凈區(qū)內(nèi)溫度過高，...
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《潔凈廠房設計規(guī)范》對潔凈廠房疏散走廊明確提出了機械排煙要求，但對于潔凈室沒有明確規(guī)定一定要設機械排煙，實際工程中各地消防部門對于集成電路廠房潔凈室是否設排煙的問題上要求也不一致；但集成電路生產(chǎn)企業(yè)的業(yè)主通常會將整個廠房進行投保，由于集成電路生產(chǎn)中要使用多種易燃的氣體和液體，保險商一般均要求潔凈室設置機械排煙措施，否則增加保費。所以在集成電路潔凈工程中，潔凈室機械排煙經(jīng)常是不可回避的問題。集成電路廠房潔凈室國內(nèi)外目前常用的排煙方式有兩種：即下排煙和上排煙。一、下排煙方式下排煙一般是在潔凈室回風下夾層或回風豎井內(nèi)設置排煙口，當潔凈室或潔凈室下夾層發(fā)生火災時，則打開排煙口，開啟排煙風機進行排煙，此時新風機組繼續(xù)運行，往潔凈室上夾層內(nèi)補充新風，并通過必要的閥門切換使上夾層與潔凈室和下夾層隔開，上夾層內(nèi)新風由FFU送入室內(nèi)。采用下排煙必須有以下條件：即潔凈室發(fā)生火災時，潔凈室頂部FFU下吹的斷面風速必須大于煙氣上升的速度，否則煙氣會在潔凈室頂部積聚。通常FFU下吹速度為0.25~0.5m/s，而火災的熱釋放率只要大于3kW，煙氣的上升速度就會大于0.5m/s，所以下排煙方式只是在潔凈室發(fā)生小火災時有效。下排煙方式最近幾年在國外的一些集成電路廠房中得到應用，但國內(nèi)工程中用得較少。二、上排煙方式上排煙是在潔凈室吊頂上設置排煙口，通過排煙風管將各排煙口連接至排煙風機，當潔凈室發(fā)生火災時，打開排煙...
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集成電路潔凈廠房是為了滿足半導體制造工藝需求的潔凈室，該潔凈室對環(huán)境潔凈度、溫濕度、振動、ESD (靜電控制)、AMC(氣態(tài)分子級污染物)控制等都有一定的要求。相對于其他工業(yè)潔凈室，集成電路制造潔凈室有面積大、潔凈等級高、溫濕度控制精度高等特點。一、FFU系統(tǒng)已成主流方案根據(jù)潔凈室空氣循環(huán)特點可以將潔凈室分為三種類型：循環(huán)空調(diào)機配合高效送風口系統(tǒng)、循環(huán)風機配合濕式密封系統(tǒng)和FFU(風機過濾單元)循環(huán)系統(tǒng)。第一種形式在小規(guī)模低等級要求的潔凈室設計中被廣泛應用，對于大面積高等級的潔凈室則存在運行成本過高、占用空間過大等缺點。第二種形式的設計可以滿足集成電路制造潔凈室大面積高等級的要求，但運行成本較高，并且潔凈室風速、風量調(diào)節(jié)困難，系統(tǒng)升級改造困難，因此操作靈活性很低。第三種的FFU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省運行空間、潔凈度安全性高、運行成本低，而且操作靈活性很高，可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時進行系統(tǒng)升級和調(diào)整，這些都能很好地滿足半導體制造的需求，因此在半導體制造業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為最主要的潔凈設計方案。FFU循環(huán)系統(tǒng)的特點是：整個潔凈室由靜壓層、工藝層、工藝輔助層和回風通道組成，由FFU提供循環(huán)空氣的動力，將新風、循環(huán)風混合后通過超高效過濾器送入工藝層和工藝輔助層，靜壓層相對于工藝層為負壓。此外，還有生產(chǎn)輔助區(qū)為集成電路制造廠務設備區(qū)域，包括電力供應、氣體和化學品供應、超純水供應等。二、AM...
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IC 生產(chǎn)由于其工藝加工線寬極小，所以對溫濕度的精度要求很高，通常溫度精度為土0.3~±0.5℃，相對濕度精度為±2%~±3%。該類廠房潔凈室一般采用新風集中處理加FFU系統(tǒng)，在下夾層或.上靜壓箱內(nèi)設干表冷器。潔凈室內(nèi)的相對濕度由新風機組保證，溫度由干表冷器保證。一、新風處理及相對濕度保證新風處理機組中設置初、中、高效三級過濾，以去除室外空氣中的灰塵粒子，設高效過濾器很有必要，可以延長潔凈室頂部FFU內(nèi)ULPA過濾器的使用壽命；設置化學過濾器主要是去除室外空氣中對IC生產(chǎn)有影響的雜質(zhì)氣體，根據(jù)工廠所在地的室外空氣品質(zhì)設置相應的化學過濾器，化學過濾器后通常需設中效過濾器以去除化學過濾器本身的產(chǎn)塵；通過設在新風處理機組內(nèi)的兩級表冷、兩級加熱以及潔凈蒸汽加濕器保證新風處理機組出口的干球溫度及露點溫度全年基本恒定，而機組出口的露點溫度還應根據(jù)其對應送風區(qū)域內(nèi)的相對濕度進行連續(xù)的重新整定，以保證室內(nèi)的相對濕度。這里不以房間內(nèi)的相對濕度直接控制加濕器或表冷器，而以房間內(nèi)的相對濕度連續(xù)的重新整定機組出口的露點溫度，再由該露點溫度控制加濕器或表冷器是為了得到更及時的濕度控制。由于外網(wǎng)蒸汽中含有對IC生產(chǎn)有影響的雜質(zhì)，新風處理機組的加濕應采用潔凈蒸汽。潔凈蒸汽加濕器通常設在表冷器前，這樣可以使新風處理機組有提高相對濕度控制精度的潛能。有些工程中是以噴淋初級純水(一級RO...
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一、安全保證措施1.在項目經(jīng)理領導下，以施工現(xiàn)場專職安全員為首，組織各施工隊、組，各工種的兼職安全員，成立現(xiàn)場安全管理小組，負責全工地的安全生產(chǎn)的教育、指導、監(jiān)督和管理2.加強對職工的安全思想教育，提高職工“安全第一、預防為主”的方針的認識，讓每個職工懂得安全生產(chǎn)“人人有責”。組織現(xiàn)場職工學習，貫徹建筑安裝安全技術操作規(guī)程，對不同工種分別學習有關安全規(guī)程，堅決貫徹執(zhí)行3.嚴格貫徹中華人民共和國建筑法第四十六條的規(guī)定“未經(jīng)安全生產(chǎn)教育培訓的人員，不得上崗作業(yè)”。與每個職工簽訂安全責任協(xié)議，實行獎罰制度，約束職工自覺遵守各項規(guī)章制度4.由專職安全員對工地現(xiàn)場的安全生產(chǎn)進行經(jīng)常性的巡回檢查外，每星期組織一次現(xiàn)場安全管理小組對工地現(xiàn)場進行一次安全生產(chǎn)檢查，促進現(xiàn)場安全生產(chǎn)更上一臺階，消除一切安全隱患，到達安全生產(chǎn)預防為主的目的5.施工用電由專人負責，接線正確，不得亂拖亂拉，機電設備應一律設安全防護罩和接地、接零。機具操作由專人負責，并安裝觸保器，做到一機一閘一觸保器，同時配有一箱一鎖。特殊工種操作者必須持證上崗，確保安全生產(chǎn)。夜間施工應有足夠的照明，并有電工跟班6.切實做好現(xiàn)場施工管理工作，道路要平整、暢通，材料、構件堆放有序且平穩(wěn)整齊。施工現(xiàn)場及職工生活區(qū)設置消防器材，在嚴禁明火的場所嚴禁吸煙，宿舍內(nèi)吸煙應備有煙灰缸，不準隨便亂丟煙頭。現(xiàn)場設有醒目安全標志及安全宣傳圖牌，增強職工安全意識...
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一、相關設計及規(guī)范要求(1)進入施工現(xiàn)場的所有設備、主要材料及配件都應有產(chǎn)品合格證或質(zhì)保書，設備應有銘牌，不合格的嚴禁進場使用(2)各類吊、支托架、管道、風管法蘭等需防腐處理的金屬件在安裝前應嚴格除銹并刷防銹漆(埋地應刷兩度防銹漆)，竣工前應刷面漆，各類管道的色標應按設計或規(guī)范要求執(zhí)行，并在主干管上標有流向標記(3)室內(nèi)給水支管(管徑20及以下)的安裝，管道在轉(zhuǎn)角、水表水龍頭或角閥及管道終端100mm處應設管卡，管卡必須安裝牢固，水管管徑在40及以上的，應采用U型鋼、U字螺栓或吊架固定，必要時按要求設置固定支架(4)消防箱消防栓口應朝外，栓口中心距地面高度應符合規(guī)范，允許偏差不大于20mm (5)管道焊接連接時應根據(jù)鋼管的壁厚在對口處留有一定的間隙1至3mm，并按規(guī)范規(guī)定坡口，焊縫應平整、飽滿。焊波均勻一致，寬度和高度應符合規(guī)范規(guī)定，焊瘤、飛濺、藥渣等應及時清除(6)衛(wèi)生器具安裝完畢應進行24小時盛水試驗。衛(wèi)生器具固定必須牢固無松動，不得使用木螺絲。便器固定螺栓應使用鍍鋅件，并用軟墊片和平墊片壓緊，不得使用彈簧墊片。嚴禁在多孔磚或輕型隔墻中使用膨脹螺栓固定衛(wèi)生器具二、設備安裝1)設備吊裝冷卻塔設置在廠房屋頂，因此在設備進場并驗收合格后，將組織力量進行吊裝作業(yè)。吊裝前，必須組織相關單位、人員對現(xiàn)場進行勘測，一致確認滿足吊裝要求，建立吊裝應急機制。吊裝時，必須請專業(yè)吊裝公司進行吊裝，并...
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一、支、吊架制作安裝管道的支、吊架制作時應根據(jù)圖紙設計的要求進行。管道活動支、吊架的具體形式和設置位置根據(jù)現(xiàn)場實際情況確定。安裝前，先定位放線，根據(jù)設計要求及規(guī)范選用支、吊架材料。管道支、吊架設置于保溫層外部，在穿過支、吊架處應鑲以墊木。支吊架制作、組對時先點焊，檢查合格后方可正式焊接，使支、吊架的型式、材質(zhì)、加工尺寸及焊接符合規(guī)范要求，制作完成后及時進行防銹處理。安裝時應根據(jù)設計要求進行放線并合理布置支架的安裝和受力部件必須符合有關標準的規(guī)定。支吊架應牢固緊密的固定在墻、柱或其他錨固預埋件或結構物上。若管道過長時，應按要求加設固定支架。二、、管道的制作、安裝管道的制作、安裝是工程的重點內(nèi)容，對于不同材質(zhì)的管材，采用不同的施工方法：1)、無縫鋼管(1)無縫鋼管使用前應除銹、刷漆(2)在正確測量的基礎上，按實測尺寸下料，可采用手工、機械切割，切割的管口應平整，內(nèi)壁毛刺及時清除干凈。對焊的管口必須根據(jù)工藝要求進行倒坡(3)焊條、焊劑使用前應根據(jù)出廠說明書的規(guī)定進行烘干，并在使用過程中保持干燥。焊條藥皮應無脫落和顯著裂紋。焊縫要飽滿，無咬口，焊接后焊渣要清理干凈(4)管段與管段連接采用法蘭盤連接或管道與法蘭閥門連接者，須按設計要求和工作壓力選用標準法蘭盤。法蘭盤的連接螺栓直徑、長度及法蘭盤連接襯墊應符合設計及規(guī)范要求。管材與法蘭盤焊接時先點焊2~3點后再找平找正后兩面焊接(5)各級焊縫質(zhì)...
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施工工序：通風技術、物資準備→圖紙交底→洞、孔預埋→風管制作→管道安裝→設備安裝→設備調(diào)試→風量平衡測試→系統(tǒng)調(diào)試交驗一、相關設計及規(guī)范要求(1)空調(diào)通風管道的鍍鋅鋼板厚度按照現(xiàn)行規(guī)范執(zhí)行。風管的彎曲半徑為0.5A(A為轉(zhuǎn)彎邊邊長)；(2)風管的三通或四通可采用三、四通管式或馬鞍管式，具體情況視現(xiàn)場實際情況而定；(3)空調(diào)風管法蘭制作采用熱軋等邊角鋼。角鋼法蘭制作時，應在平臺設置卡具，使成型法蘭表面平整度誤差≯2mm，對角線誤差≯2mm。圓形法蘭任意正交兩直徑之差≯2mm；(4)角鋼法蘭鉆孔時，應采用無誤差標準法蘭配對鉆孔，同一批量加工的相同規(guī)格法蘭的螺孔排列應一致， 并具有互換性；(5)空調(diào)系統(tǒng)風管螺孔間距≯100mm，鉚釘孔間距≯100mm； 機械排風系統(tǒng)風管螺孔鉚釘間距≯120mm；法蘭應四角設螺栓；螺栓、螺母、鉚釘、墊圈等均應為鍍鋅件； (6)法蘭間墊料采用閉孔海綿橡膠墊，厚度為6mm，墊料接縫處應采用梯形或企口接口，不得對接。安裝時兩面涂膠粘牢，墊料內(nèi)側(cè)應與風管內(nèi)部齊平。風管軟接頭采用高強度光面合成革，安裝時光面向內(nèi)，接縫處應嚴密； (7)風閥、風口等部件在組對時，必須清除內(nèi)、外表面油脂、污垢、積塵；(8)室內(nèi)風管支吊架制作按規(guī)范制作，吊桿采用φ8~φ10圓鋼制作。吊點應垂直于地面，吊點間距3m左右。吊點不應設置于風閥、風口部位。防火閥等較重部件應單獨設置吊點。風管橫擔角...
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