前言：一個工藝技術(shù)先進的大規(guī)模集成電路工廠的硅片制造過程中，全部工藝大約要使用50種不同的電子氣體。其中大部分為特種氣體。本文就特種氣體系統(tǒng)的設計與施工方面做一個簡單描述。一：概念 特氣輸送系統(tǒng)是指：將特種氣體從氣源端、根據(jù)工藝設備的工藝需求、通過對流量和壓力等參數(shù)的控制，通過管道、無二次污染、穩(wěn)定的輸送到工藝設備的用氣點。其基本流程是：氣源→控制柜→管道傳輸→VMB→用氣點二：分類 特種氣體根據(jù)氣體性質(zhì)不同一般分為：惰性氣體、易燃易爆氣體、有毒氣體和腐蝕性氣體；根據(jù)供應包裝的不同分為：特種氣體和大宗特種氣體。三：供氣系統(tǒng)的選擇 1. 簡單供氣系統(tǒng) 簡單供氣系統(tǒng)主要針對4英寸及以下半導體芯片廠、半導體材料的科研機構(gòu)以及一些單臺的工藝設備等。它們的制程簡單，通常不需要連續(xù)性供氣，對氣體供應系統(tǒng)的投資預算低。由于氣體流量小，不經(jīng)常使用，特種氣體氣源多采用普通鋼瓶（2. 常規(guī)供氣系統(tǒng) 常規(guī)供氣系統(tǒng)主要應用于4-6英寸 大規(guī)模集成電路廠，50MW以下的太陽能電池生產(chǎn)線，發(fā)光二極管的芯片工序線以及其它用氣量中等規(guī)模的電子行業(yè)。對氣體純度控制的要求不苛刻，系統(tǒng)配備在滿足安全的前提下盡量簡單，節(jié)省投資。特種氣體采用普通鋼瓶（3.大宗特氣供氣系統(tǒng)大規(guī)模供氣系統(tǒng)主要針對大規(guī)模量產(chǎn)的8-12英寸（1英寸=25.4毫米）超大規(guī)模集成電...
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1 前言近年來，不銹鋼風管的使用已越來越普遍，對于不銹鋼風管的焊接工藝，以前并沒有相應的規(guī)范或工藝方法來指導施工，為此我們總結(jié)出了一套不銹鋼風管的制作方法來滿足施工中的需要，提高施工質(zhì)量、解決施工中的疑難問題，在保證使用功能的前提下滿足觀感質(zhì)量要求。目前我們已按此工法在項目上實施，取得了良好的效果。 2 特點2.0.1 風管焊接成型質(zhì)量好、變形小、觀感好。2.0.2 風管的加固形式新穎，節(jié)約成本。3 適用范圍此工法可適用于厚度為1.0mm及以上的不銹鋼薄板風管焊接制作施工。4 工藝原理本工法在鍍鋅鋼板風管制作標準的基礎(chǔ)上，采用氬弧焊，對1.0mm厚的不銹鋼薄板矩形風管進行焊接制作，不僅在橫向連接處采用氬弧焊焊接，并在風管橫向連接時也采用氬弧焊焊接，即所有的風管接縫處均施以氬弧焊焊接。不銹鋼薄板矩形風管的加固采取不銹鋼角鋼加固框加固和直角形加固相結(jié)合的方法，以保證其符合風管的剛度等級要求。5 工藝流程及操作要點5.1 施工流程風管制作流程見圖5.1。圖5.1 風管焊接制作工藝流程圖5.2 主要施工方法及技術(shù)要求5.2.1 制定方案、施工準備熟悉圖紙、規(guī)范等技術(shù)資料，編制并組織方案會審。確定風管橫向連接時采用翻邊對接焊，翻邊尺寸為15mm，確定不銹鋼薄板矩形風管的加固采取不銹鋼角鋼加固框...
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新版GMP認證出臺后，許多制藥企業(yè)在純化水設備系統(tǒng)的GMP認證會遇到一些問題，以下是水處理之家網(wǎng)整理收集的20個常見的制藥純化水設備系統(tǒng)GMP認證問題。1.純化水設備沒有安裝PID圖；2.純水設備沒有貼取樣點編號；3.純化水系統(tǒng)中需要加上用水點編號；純化水儲罐上面管道無流向標識；4.純化水理化檢測記錄中：不揮發(fā)物檢測稱重無原始打印記錄；電導率的檢測應加入單位；其整張記錄太粗，可操作性不強；5.純化水系統(tǒng)從EDI出來就是純化水，但現(xiàn)場的管路及閥門、送水泵、壓力表都沒安照純化水的標準做，存在污染風險；6.純化水系統(tǒng)驗證時沒有驗證自動電磁閥的動作是否準確無誤；7.安裝純化水在線電導率監(jiān)測時沒有圖紙；8.純化水無管理設計圖，管路非衛(wèi)生連接，無日常監(jiān)控，管路設計不利于取樣；9.純化水灌及焊接不符合要求，應該采用一面焊兩面的成型工藝，并提供純化水管道的內(nèi)窺鏡照片；10.純化水設備系統(tǒng)無取樣記錄；純化水回水處應安裝流量計；11.純化水系統(tǒng)需要對總送、總回、儲罐、最遠用水點進行每周全檢，其余用水點每月全檢；12.純化水系統(tǒng)的驗證，對純化水設備系統(tǒng)的IQ\OQ\PQ等性能進行驗證；13.純化水的設計、安裝、臭氧消毒依據(jù)、焊接、驗證確認等部分不符合要求；14.純化水設備的圖紙與實際設計不相符，各控制閥應在圖紙上注明；15.管道、儲水罐、電焊問題；16.儲備出水口，回水口應有溫度計，以便對其溫度變化進行...
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一、基本要求1、承擔潔凈廠房工程的施工企業(yè)，應具有相應工程施工資質(zhì)及其等級，并應具有完善的質(zhì)量管理體系。2、潔凈廠房的施工應按設計文件、合約的內(nèi)容實施。當修改設計時，應經(jīng)原設計單位的確認、簽證，并得到建設單位的同意。3、 潔凈廠房施工前應根據(jù)具體工程項目的特點，制訂施工方案和程序，做到各工種協(xié)調(diào)施工、階段明確、交接清楚，確保整體施工質(zhì)量和安全操作。4、 施工企業(yè)承擔對潔凈廠房工程內(nèi)各專業(yè)設計圖紙進行深化的施工詳圖設計時，應執(zhí)行現(xiàn)行國家標準《潔凈廠房設計規(guī)范》GB50073的相關(guān)規(guī)定，并應加強設計質(zhì)量管理，具有質(zhì)量管理體系，施工詳圖應得到原設計單位的書面同意或確認，并得到建設單位的同意后，方能進行施工。5、 潔凈廠房工程中各專業(yè)的隱蔽工程，隱蔽前必須經(jīng)建設單位或監(jiān)理人員的驗收及認可簽證。6、 潔凈廠房工程竣工驗收的系統(tǒng)調(diào)試，應在建設單位和監(jiān)理單位的共同參與下進行，由施工企業(yè)負責進行系統(tǒng)調(diào)試、檢測，承擔調(diào)試的單位應具有調(diào)試、檢測專職技術(shù)人員和符合本規(guī)范規(guī)定的測試儀器。二、人員管理（一）對人員的基本要求1、潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境（以下簡稱潔凈室）的各級施工人員應有必要的潔凈室施工經(jīng)歷，明確的分工和職責。2、施工生產(chǎn)管理和質(zhì)量管理的責任人不得互相兼任。3、特殊工種作業(yè)人員應持證上崗。（二）人員組成1、潔凈室施工應組成項目經(jīng)理部。項目經(jīng)理部最基本的人員組成如下：2、項目經(jīng)理應是本項目工程進度、...
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純化水系統(tǒng)故障及排除故障現(xiàn)象故障原因排除方法原水箱、軟化水箱滿溢水水箱內(nèi)浮球閥損壞更換或修理浮球閥原水箱水發(fā)紅進水含有鐵銹將原水箱水排去增壓泵不動作1、 增壓泵電源未開1、 打開內(nèi)部電源一級高壓泵不動作1、 增壓泵未開2、 高壓泵進口壓力低1、 開啟增壓泵2、 保安過濾堵塞3、 清洗保安過濾器濾芯二級高壓泵不動作1、 中間水箱液位低增大一級出水流量調(diào)節(jié)平衡紫外線殺菌器不亮1、 紫外線燈管壞2、 整流器壞1、 更換紫外線燈管2、 更換整流器純化水泵不動作1、純化水箱液位低1、增加水箱水位水泵流量不足1、泵進出口閥門未開或進出口管道有堵塞現(xiàn)象2、泵出口閥門或止回閥損壞3、水箱內(nèi)斷水1、開大閥門，清除管道堵塞2、更換或修理閥門3、檢查水箱內(nèi)水位，排除液位控制故障水泵不動作，電磁閥不動作1、 電源未打開2、 熱繼電器動作3、 接觸器未吸合1、 打開電源2、 按熱繼電器復位鍵3、 接通接觸電源熱繼電器動作1、 泵被雜物卡住2、 電線松動、缺相3、 電機壞1、 手動轉(zhuǎn)動泵電機清除雜物2、 檢查接線并旋緊連接螺絲3、更換電機接觸器不吸合1、 線頭松動2、 控制電源未開1、檢查接線并旋緊連接線螺絲2、打開控制電源電動閥不動作1、 電源未開2、 電動閥過轉(zhuǎn)矩動作3、 熱繼電器動作4、 接觸器未吸合1、 打開電源2、 現(xiàn)場手動將閥門打開至中間位置再試3、 按熱繼電器復位...
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純化水制水工藝流程1、制水工藝流程自來水→原水箱→原水泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→保安過濾器→一級高壓泵→一級RO裝置→中間水箱→二級高壓泵→二級RO裝置→純化水箱→純化水泵→紫外線殺菌器→微濾器→使用點 循環(huán)回流2、制水工藝流程說明制水工藝主要有五個部分組成（1）、預處理系統(tǒng)部分系統(tǒng)包括原水箱、原水泵、多介質(zhì)過濾、活性炭過濾器，以去除原水中機械雜質(zhì)、懸浮物、膠體、有機物、游離氯、硬度等以保護反滲透膜不被破壞及防止在反滲透膜表面結(jié)垢，使之達到反滲透的進水要求。（2）、反滲透系統(tǒng)部分系統(tǒng)包括、保安過濾器、一級高壓泵、一級反滲透膜組件、中間水箱、二級高壓泵、二級反滲透膜組件、純化水箱，主要是利用反滲透的原理將經(jīng)預處理后的水通過反滲透膜使水分成高含鹽量的濃水及很低含鹽量的純化水，并將水中的大部分細菌及制熱源得以除去，滿足制藥用水的需要。（3）純化水供給系統(tǒng)部分系統(tǒng)包括純化水泵、紫外線殺菌器、終端過濾器、循環(huán)管道，主要是將純化水供給用水點使用，并使系統(tǒng)形成大循環(huán)，保證各用水點的水質(zhì)能達到制藥用水要求。
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1、CEILING GRID SYSTEM施工工藝流程 ①、基準線放樣(X、Y、Z軸點) ②、結(jié)構(gòu)工程組件安裝 ③、T-GRID骨架預制規(guī)劃及安裝 2、步驟一：基準線放樣(X、Y、Z軸點)施工說明：1、依據(jù)建筑物水平高度之基準點為標記(此為Z軸)，量測至所需之高度。2、再依據(jù)水平高度之標記，運用雷射定位儀掃描施工區(qū)，于墻面及立柱訂定雷射掃描之標記，以利于其它施工區(qū)為參照標記或校對雷射定位施作。3、參照設計對FFU風機過濾機組所需之施作面積及方位定位出橫向及縱向(X、Y軸)。4、再以雷射定位儀掃描作X、Y軸放樣施作點，其須配合高架地板、墻板…等相關(guān)工程發(fā)展依據(jù)。5、此基準點放樣之部份，須經(jīng)業(yè)主、放樣單位、天花板、墻板、高架地板…等相關(guān)工程單位所共同認定之原始基準點。6、基準點之正確性經(jīng)相關(guān)單位確認無誤后，其X、Y、Z軸往外發(fā)展時，須利用重力錘(線錘)懸吊與原始軸線確定正確性，此動作需作定區(qū)性之確認。3、步驟二：結(jié)構(gòu)工程組件安裝施工說明：1、先將共同吊架組裝及安裝于定位，其共同吊架之組法須經(jīng)業(yè)主同意，始可安裝于結(jié)構(gòu)上。2、先將吊桿之組件(牙桿、凸緣螺母、ㄇ型固定片、水平調(diào)節(jié)器、菱形螺絲等)預先組裝成組件。(如圖一、圖二)。3、再以組裝好之吊桿組件安裝于共同吊架上已事先標記之位置或于放樣時直接安裝(如圖三)。4、吊桿組件之長度須視設計圖面天花板高度要求施作...
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潔凈室壓差的作用 潔凈室中的被操作對象，有多種多樣，如電子產(chǎn)品、藥品、保健品、微生物、病毒等。在操作的過程中，有些對象（如病毒等）會產(chǎn)生對人有害的甚至是有生物學危險的氣溶膠。所以，不管是在潔凈室中生產(chǎn)產(chǎn)品，還是進行病毒研究，既需要保護產(chǎn)品不受外界污染，也需要使操作過程中產(chǎn)生的污染不外泄。除了采用密封很好的潔凈室屏障保護外，還需利用壓差的作用，使氣流按規(guī)定的方向流動。如正壓潔凈室其靜壓大于鄰室或環(huán)境的靜壓，利用這種壓差作用，使氣流按規(guī)定的方向流動，這就防止了鄰室或室外對潔凈室的污染。負壓潔凈室正好于此相反，在潔凈室內(nèi)做一些有生物學危險的操作，或者在操作過程中會產(chǎn)生強烈致敏性的藥塵等，這就要利用這種壓差，使污染物控制在特定的范圍之內(nèi)。 所以，通過這種壓差和潔凈室的密封圍護結(jié)構(gòu)的共同作用，形成屏障保護系統(tǒng)，達到控制污染的目的。
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凈化空調(diào)系統(tǒng)冷熱源的選擇一、集中冷凍站和分散獨立冷源的比較和選擇。大型規(guī)?；纳a(chǎn)工廠集中設置冷凍站，對建造投資和運行管理都是比較有利的。但是由于一些溫、濕要求差別比較大、供冷參數(shù)不同、運行規(guī)律、運行時間不同的潔凈車間來說，在集中冷凍站基礎(chǔ)上，就近設置分散、獨立、專用的制冷機組，這對節(jié)省能源，保證參數(shù)和方便運行管理都有極大的好處。二、冷媒采用冷凍水還是氟立昂直接蒸發(fā)。對于大型的工廠由集中的冷凍站供給冷凍水作為凈化空調(diào)系統(tǒng)的冷媒較為有利。因冷凍水輸送方便，輸送過程冷損失較??；而且，冷凍水作冷媒對凈化空調(diào)系統(tǒng)參數(shù)的控制、調(diào)節(jié)和維護管理也都比較有利。但是小的獨立分散的制冷機組可采用水冷冷水機組，也可采用風冷直接蒸發(fā)的制冷機組。這要根據(jù)具體項目的具體情況而定。三、采用壓縮式制冷機還是采用直燃式溴化鋰吸收式制冷機?；钊健㈦x心式、螺桿式制冷機都是壓縮式制冷機，在凈化空調(diào)設計中最多采用的還是離心、螺桿等壓縮制冷機。因為其投資低，運行管理方便，但其運行耗電很高。但是，在供電緊張而燃氣和煤供應較為方便的地區(qū)，尤其是有廢熱廢蒸汽可以利用的場合，采用直燃式溴化鋰吸收式制冷機更為經(jīng)濟，尤其是這種制冷機組在供冷的同時還可供熱。四、以冬季防凍為目的新風預熱加熱器的熱媒最好采用電加熱或蒸汽加熱，一般不宜采用熱水作熱媒，這樣預熱器本身可能有被凍壞的危險。五、空調(diào)機組內(nèi)加熱器的熱媒可采用熱水、蒸汽或電加熱，其中電...
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采用潔凈室技術(shù)，對受控微環(huán)境進行污染控制以達到所要求的空氣潔凈度，需要采取多種綜合技術(shù)措施。這些措施包括：1、采用復合要求的材料建造潔凈室潔凈室的污染控制是一項系統(tǒng)工程，需多種措施有效配合，才能以最小的代價來達到最有效的污染控制。潔凈室的墻壁、地面、頂棚應不產(chǎn)塵、少積塵、不易滋生細菌、無接縫或少接縫且接縫應嚴密。符合要求的材料有彩鋼夾芯復合板、電解鋼板加抗菌涂層、人造石材板等。地面材料?環(huán)氧樹脂自流平地面、PVC防靜電地板、高級水磨石地板等。2、選用符合潔凈室要求的設備這項工作由工藝專業(yè)完成。目前的情況是：有相當比例的工藝設備不符合潔凈室的要求，表現(xiàn)在凹凸不平、易產(chǎn)塵積塵、污染環(huán)境?？稍谠O備安裝后，在不影響使用的情況下，用不銹鋼板進行裝飾，使其表面平整、光潔。3、采用壓差控制措施根據(jù)潔凈度的高低、工藝設備的產(chǎn)塵情況，利用壓差有效控制污染。一般情況下，氣流應從潔凈度高的潔凈室流向潔凈度低的潔凈室滲透。對于產(chǎn)生污染的潔凈室，除采取防止污染擴散的措施外，應使?jié)崈羰姨幱谙鄬ω搲旱臓顟B(tài)，以防污染鄰室。4、采用合理的人凈、物凈措施配合建筑專業(yè)設計，合理設計人流、物流通道，根據(jù)工藝要求，采用一更、二更甚至三更的人凈方案。必要時需設置空氣吹淋室垂釣潔凈工作服上的浮塵。原材料的輸入，產(chǎn)品輸出，均需有很好的保護措施。如設置傳遞窗、傳遞通道。對輸入原輔料進行外包吸塵、脫外包等工序。通過壓差來控制輸入、輸...
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