![如何建設(shè)PCR實(shí)驗(yàn)室]( "如何建設(shè)PCR實(shí)驗(yàn)室")
與PCR實(shí)驗(yàn)室建設(shè)相關(guān)的指導(dǎo)文件主要有四份： 《醫(yī)療機(jī)構(gòu)管理?xiàng)l例》 《醫(yī)療機(jī)構(gòu)臨床實(shí)驗(yàn)室管理辦法》 《臨床基因擴(kuò)增檢驗(yàn)實(shí)驗(yàn)室管理暫行辦法》 《醫(yī)療機(jī)構(gòu)臨床基因擴(kuò)增實(shí)驗(yàn)室管理辦法》 臨床PCR實(shí)驗(yàn)室，不但在實(shí)驗(yàn)室設(shè)置及儀器設(shè)備等硬件上要滿足開展臨床檢驗(yàn)的條件，而且要求實(shí)驗(yàn)室在日常工作要有文件化的工作程序。 下面就在PCR實(shí)驗(yàn)室建設(shè)過程中的幾個(gè)關(guān)鍵控制點(diǎn)進(jìn)行闡述: 01 PCR實(shí)驗(yàn)室質(zhì)量管理體系 根據(jù)實(shí)驗(yàn)室的具體情況編寫質(zhì)量體系文件，《質(zhì)量手冊(cè)》、《程序文件》、《作業(yè)指導(dǎo)書》，并保證管理體系運(yùn)行有效。 管理體系的特點(diǎn)是應(yīng)有明確的目的、規(guī)范的管理、有效的制約、高效的機(jī)制、能自我發(fā)展的整體。 建立完善的SOP文件，對(duì)完成各項(xiàng)質(zhì)量活動(dòng)的方法作出規(guī)定，每個(gè)SOP都應(yīng)對(duì)一個(gè)或一組相互關(guān)系的活動(dòng)進(jìn)行描述。 每個(gè)SOP文件應(yīng)說明該項(xiàng)質(zhì)量各環(huán)節(jié)的輸入、轉(zhuǎn)換和輸出所需的文件、物資、人員、記錄以及它們與有關(guān)活動(dòng)的接口關(guān)系。 明確每個(gè)環(huán)節(jié)轉(zhuǎn)換過程中各項(xiàng)因素的要求，即由誰做、做什么、做到什么程序、達(dá)到什么要求，如何控制、形成什么記錄和報(bào)告，以及相應(yīng)的審批手續(xù)。 規(guī)定在質(zhì)量活動(dòng)中需要注意的例外或特殊情況的糾正措施。SOP應(yīng)簡(jiǎn)練、明確和易懂并且工作人員熟練掌握和嚴(yán)格遵守。 &...
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![生物制藥潔凈室設(shè)計(jì)需要注意的七個(gè)要點(diǎn)]( "生物制藥潔凈室設(shè)計(jì)需要注意的七個(gè)要點(diǎn)")
潔凈設(shè)施是保證藥品、醫(yī)療器械及直接接觸藥品的包裝材料生產(chǎn)企業(yè)產(chǎn)品質(zhì)量和醫(yī)院制劑室藥品配制質(zhì)量，防止生產(chǎn)（配制）環(huán)境對(duì)產(chǎn)品污染的基本條件，生產(chǎn)（配制）區(qū)域必須滿足規(guī)定的環(huán)境參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)。為保證生產(chǎn)企業(yè)和制劑室的潔凈室（區(qū)）性能能持續(xù)的符合潔凈室的相關(guān)要求，新建潔凈室應(yīng)進(jìn)行工程驗(yàn)收，工程驗(yàn)收應(yīng)分竣工驗(yàn)收和綜合性能全面評(píng)定兩個(gè)階段進(jìn)行，竣工驗(yàn)收的檢驗(yàn)和調(diào)整應(yīng)在空態(tài)或靜態(tài)下進(jìn)行，綜合性能全面評(píng)定的檢測(cè)狀態(tài)由建設(shè)、設(shè)計(jì)和施工單位三方協(xié)商確定，然后由有資質(zhì)的第三方進(jìn)行檢測(cè)。投入使用的潔凈室還應(yīng)定期對(duì)潔凈室（區(qū)）開展性能檢測(cè)工作。由于工作的關(guān)系，筆者按照《藥品生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范》（1998年修訂）、《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》（JG J71-90）、《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》（G B50073-2001）、《直接接觸藥品的包裝材料和容器生產(chǎn)潔凈室（區(qū)）要求》、《無菌醫(yī)療器具生產(chǎn)管理規(guī)范》（Y Y0033-2000）的規(guī)定，SICOLAB現(xiàn)對(duì)一些新建和改建的潔凈室進(jìn)行測(cè)試，現(xiàn)分析討論潔凈室在運(yùn)行及系統(tǒng)設(shè)計(jì)中存在的一些問題。1、潔凈室的設(shè)計(jì)、施工超標(biāo)準(zhǔn)（1）對(duì)有萬級(jí)到30萬級(jí)要求的由多間潔凈室組成的企業(yè)，設(shè)計(jì)、承建方統(tǒng)一按萬級(jí)要求去做，這樣設(shè)計(jì)、施工就容易多了，系統(tǒng)調(diào)試也變得相對(duì)容易。（2）提高潔凈室的潔凈級(jí)別，如按《藥品生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范》（1998年修訂）的要求，口服固體制劑的生產(chǎn)車間達(dá)到30萬級(jí)即可，但生產(chǎn)企業(yè)...
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![弱電機(jī)房精密空調(diào)知識(shí)匯總]( "弱電機(jī)房精密空調(diào)知識(shí)匯總")
前言：弱電機(jī)房?jī)?nèi)經(jīng)常用到空調(diào)，尤其是精密空調(diào)，關(guān)于精密空調(diào)你知道多少？如何選擇？這篇文章可以幫助到你。正文：一、機(jī)房環(huán)境要求開機(jī)時(shí)電子計(jì)算機(jī)機(jī)房?jī)?nèi)的溫濕度停機(jī)時(shí)電子計(jì)算機(jī)機(jī)房?jī)?nèi)的溫濕度開機(jī)時(shí)主機(jī)房的溫濕度應(yīng)執(zhí)行A級(jí)，基本工作間可根據(jù)設(shè)備要求按A、B兩級(jí)執(zhí)行。其它輔助房間應(yīng)按工藝要求確定。主機(jī)房?jī)?nèi)的空氣含塵濃度，在靜態(tài)條件下測(cè)試，每升空氣大于或等于0.5μm的塵粒數(shù)，應(yīng)少于18000粒。主機(jī)房區(qū)的噪聲聲壓級(jí)小于68分貝;主機(jī)房?jī)?nèi)要維持正壓，與室外壓差大于9.8帕;送風(fēng)速度不小于3米/秒;為使機(jī)房能達(dá)到上述要求，應(yīng)采用精密空調(diào)機(jī)組才能滿足要求。二、機(jī)房專用精密空調(diào)特點(diǎn)一、大風(fēng)量、小焓差與相同制冷量的舒適性空調(diào)機(jī)相比，機(jī)房專用空調(diào)機(jī)的循環(huán)風(fēng)量約大一倍，相應(yīng)的焓差只有一半，機(jī)房專用空調(diào)機(jī)運(yùn)行時(shí)通常不需要除濕，循環(huán)風(fēng)量較大將使得機(jī)組在空氣露點(diǎn)以上運(yùn)行，不必要像舒適性空調(diào)機(jī)那樣為應(yīng)付濕負(fù)荷而不得不使空氣冷卻到露點(diǎn)以下，故機(jī)組可以通過提高制冷劑的蒸發(fā)溫度提高機(jī)組運(yùn)行的熱效率，從而提高運(yùn)行的經(jīng)濟(jì)性。同樣，機(jī)房要求溫濕度指標(biāo)相對(duì)穩(wěn)定，較大的循環(huán)風(fēng)量將有利于穩(wěn)定機(jī)房的溫濕度指標(biāo)，顯然，在制冷量一定的情況下，風(fēng)量的增大將導(dǎo)致焓差的減少，因而通常機(jī)組只能在顯熱比相當(dāng)高的工況下運(yùn)行，這恰恰與機(jī)房的負(fù)荷特點(diǎn)相適應(yīng)。二、機(jī)房的熱負(fù)荷變化幅度較大通常要在10%～20%之間變動(dòng)，這是由于主機(jī)設(shè)備所處的工作狀態(tài)不同，...
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醫(yī)院醫(yī)用氣體供應(yīng)系統(tǒng)，又稱為生命支持系統(tǒng)，用于維系危重病人生命，促進(jìn)病人康復(fù)，驅(qū)動(dòng)各種醫(yī)用治療工具等。 醫(yī)院醫(yī)用氣體的建設(shè)內(nèi)容為：氧氣供應(yīng)及應(yīng)用系統(tǒng)；真空吸引供應(yīng)及應(yīng)用系統(tǒng)；壓縮空氣供應(yīng)及應(yīng)用系統(tǒng)；潔凈手術(shù)部的氮?dú)?、二氧化碳、氧化亞氮供?yīng)及應(yīng)用系統(tǒng)；潔凈手術(shù)部麻醉廢氣排放系統(tǒng)。 根據(jù)我們的調(diào)查了解，目前我國(guó)已建成的醫(yī)院中，大部分的醫(yī)用氣體工程，基本上不合格或是廢品，形勢(shì)嚴(yán)峻。 醫(yī)用氣體各子系統(tǒng)簡(jiǎn)介*氧氣供應(yīng)系統(tǒng) 氧氣供病人呼吸使用，主要供應(yīng)各病房、各種重癥監(jiān)護(hù)病房（ICU）、搶救室、潔凈手術(shù)部、門診檢查、血液透析、高壓氧艙等處。其中供應(yīng)高壓氧艙的氧氣，作為另一專用系統(tǒng)對(duì)待。 氧氣氣源，一般由氧氣鋼瓶匯流排、液氧儲(chǔ)罐或制氧機(jī)提供。供應(yīng)壓力為0.4MPa。氧氣在使用點(diǎn)處，設(shè)置有能快速插拔的終端接頭，并通過氧氣濕化瓶減壓，計(jì)量后供病人吸入。 *真空吸引供應(yīng)系統(tǒng) 真空吸引用于吸除病人痰、膿、血、手術(shù)污物等，主要供應(yīng)各病房、各種重癥監(jiān)護(hù)病房（ICU）、搶救室、潔凈手術(shù)部、門診檢查、血液透析等處。 真空...
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![生物制藥潔凈室設(shè)計(jì)的七個(gè)注意點(diǎn)]( "生物制藥潔凈室設(shè)計(jì)的七個(gè)注意點(diǎn)")
潔凈設(shè)施是保證藥品、醫(yī)療器械及直接接觸藥品的包裝材料生產(chǎn)企業(yè)產(chǎn)品質(zhì)量和醫(yī)院制劑室藥品配制質(zhì)量，防止生產(chǎn)（配制）環(huán)境對(duì)產(chǎn)品污染的基本條件，生產(chǎn)（配制）區(qū)域必須滿足規(guī)定的環(huán)境參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)。為保證生產(chǎn)企業(yè)和制劑室的潔凈室（區(qū)）性能能持續(xù)的符合潔凈室的相關(guān)要求，新建潔凈室應(yīng)進(jìn)行工程驗(yàn)收，工程驗(yàn)收應(yīng)分竣工驗(yàn)收和綜合性能全面評(píng)定兩個(gè)階段進(jìn)行，竣工驗(yàn)收的檢驗(yàn)和調(diào)整應(yīng)在空態(tài)或靜態(tài)下進(jìn)行，綜合性能全面評(píng)定的檢測(cè)狀態(tài)由建設(shè)、設(shè)計(jì)和施工單位三方協(xié)商確定，然后由有資質(zhì)的第三方進(jìn)行檢測(cè)。投入使用的潔凈室還應(yīng)定期對(duì)潔凈室（區(qū)）開展性能檢測(cè)工作。由于工作的關(guān)系，筆者按照《藥品生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范》（1998年修訂）、《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》（JG J71-90）、《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》（G B50073-2001）、《直接接觸藥品的包裝材料和容器生產(chǎn)潔凈室（區(qū)）要求》、《無菌醫(yī)療器具生產(chǎn)管理規(guī)范》（Y Y0033-2000）的規(guī)定，SICOLAB現(xiàn)對(duì)一些新建和改建的潔凈室進(jìn)行測(cè)試，現(xiàn)分析討論潔凈室在運(yùn)行及系統(tǒng)設(shè)計(jì)中存在的一些問題。1、潔凈室的設(shè)計(jì)、施工超標(biāo)準(zhǔn)（1）對(duì)有萬級(jí)到30萬級(jí)要求的由多間潔凈室組成的企業(yè)，設(shè)計(jì)、承建方統(tǒng)一按萬級(jí)要求去做，這樣設(shè)計(jì)、施工就容易多了，系統(tǒng)調(diào)試也變得相對(duì)容易。（2）提高潔凈室的潔凈級(jí)別，如按《藥品生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范》（1998年修訂）的要求，口服固體制劑的生產(chǎn)車間達(dá)到30萬級(jí)即可，但生產(chǎn)企業(yè)...
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純水是指純凈水一般以城市自來水為水源，通過多層過濾，可將微生物等有害物質(zhì)去除，但同時(shí)也去除了氟、鉀、鈣、鎂等人體所需的礦物質(zhì)。臭氧滅菌超純水處理臭氧（O3）的消毒原理是：臭氧在常溫、常壓下分子結(jié)構(gòu)不穩(wěn)定，很快自行分解成氧氣（O2）和單個(gè)氧原子（O）；后者具有很強(qiáng)的活性，對(duì)細(xì)菌有極強(qiáng)的氧化作用，將其殺死，多余的氧原子則會(huì)自行重新結(jié)合成為普通氧原子（O2），不存在任何有毒殘留物，故稱無污染消毒劑，它不但對(duì)各種細(xì)菌（包括肝炎病毒，大腸桿菌，綠濃桿菌及雜菌等）有極強(qiáng)的殺滅能力，而且對(duì)殺死霉素也很有效。1、臭氧的滅菌機(jī)制及過程類屬于生物化學(xué)過程， 氧化分解了細(xì)菌內(nèi)部氧化葡萄糖所必須的葡萄糖氧化酶。2、直接與細(xì)菌、病毒發(fā)生作用，破壞其細(xì)胞器和核糖核酸，分解DNA、RNA，蛋白質(zhì)、脂質(zhì)類和多糖等大分子聚合物，使細(xì)菌的物質(zhì)代謝生產(chǎn)和繁殖過程到破壞。3、滲透胞膜組織，侵入細(xì)胞膜內(nèi)作用于外膜脂蛋白和內(nèi)部的脂多糖，使細(xì)胞發(fā)生通透畸變，導(dǎo)致細(xì)胞溶解死亡。并且將死亡菌體內(nèi)遺傳基因、寄生菌種、寄生病毒粒子、噬菌體、枝原體及熱原（細(xì)菌病毒代謝產(chǎn)物、內(nèi)毒素）等溶解變性滅亡?；钚蕴课郊兯幚砉に嚮钚蕴恳揽课胶瓦^濾作用主要去除水中的異色、異味、余氯、殘留消毒物等有機(jī)物雜質(zhì)。薄膜微孔過濾（MF）純水處理工藝薄膜微孔過濾法包括三種形式：深層過濾、篩網(wǎng)過濾、表面過濾。深層過濾是以編織纖維或壓縮材料制成的基質(zhì)，利用隋性吸...
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![潔凈室的改造要點(diǎn)參考]( "潔凈室的改造要點(diǎn)參考")
對(duì)于規(guī)模比較小的生產(chǎn)運(yùn)作，如何在有限的預(yù)算內(nèi)對(duì)現(xiàn)有的空間進(jìn)行改造升級(jí)、達(dá)到工藝的要求？在當(dāng)前的經(jīng)濟(jì)形勢(shì)下，隨著各行各業(yè)對(duì)納米技術(shù)的研究和分析投入明顯增加，針對(duì)小規(guī)模潔凈實(shí)驗(yàn)室的需求呈現(xiàn)明顯的增長(zhǎng)勢(shì)頭。在制造業(yè)、企業(yè)的研發(fā)中心和學(xué)術(shù)單位的研究機(jī)構(gòu)中，需要大量的這種小規(guī)模潔凈實(shí)驗(yàn)室。不管是供汽車和包裝材料使用的復(fù)合材料，在涂料、光學(xué)、生物和化學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)中，在抗菌劑中，還是用于癌癥治療、給藥、成像技術(shù)、診斷和監(jiān)測(cè)等應(yīng)用上，它們都需要大量的新型潔凈室，這是在過去未曾遇到的。很多時(shí)候，這些潔凈實(shí)驗(yàn)室都是在現(xiàn)有空間的基礎(chǔ)上進(jìn)行改造。最近，我們注意到很多公司和研究機(jī)構(gòu)正在考慮租用工廠作為新型受控實(shí)驗(yàn)室使用。有的公司甚至打算把租來的、原本不是作為實(shí)驗(yàn)室使用的工廠改造成潔凈實(shí)驗(yàn)室，更不用說改成潔凈室了，這使問題變得更復(fù)雜。對(duì)大部分公司和研究所來講，對(duì)現(xiàn)有工廠進(jìn)行改造和升級(jí)或更新租用的工廠，有許多相同的問題，本文將對(duì)部分問題展開討論。在評(píng)估一個(gè)可能成為實(shí)驗(yàn)室的空間時(shí)，首先要考慮的是如何才能使現(xiàn)有的建筑按照相應(yīng)的程序達(dá)到預(yù)期的功用，使之符合實(shí)驗(yàn)室的要求。簡(jiǎn)而言之，首先要明確實(shí)驗(yàn)室所需遵循的程序。然后，對(duì)實(shí)驗(yàn)室程序進(jìn)行分類，可以分為以下五種。每一套程序都有各自需要關(guān)注的問題。并不是在設(shè)計(jì)潔凈室時(shí)使用的，而是在評(píng)價(jià)潔凈實(shí)驗(yàn)室工廠是否合適時(shí)所需關(guān)注的問題清單：1、工藝設(shè)備要求的環(huán)境條件（潔凈度水平、溫度、濕度...
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隨著科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步，經(jīng)濟(jì)的發(fā)展，潔凈技術(shù)的應(yīng)用越來越廣泛。目前在電子、制藥、食品、生物工程、醫(yī)療等領(lǐng)域?qū)崈羰业囊笠苍絹碓礁?，它綜合了工藝、建筑、裝飾、給排水、空氣凈化、暖通空調(diào)及自動(dòng)化控制測(cè)量等各方面的技術(shù)。本文從潔凈室的角度，談?wù)勛詣?dòng)化儀表控制與監(jiān)測(cè)技術(shù)在潔凈室的應(yīng)用。現(xiàn)代潔凈室技術(shù)將潔凈室設(shè)計(jì)建造、潔凈室測(cè)試與檢測(cè)、潔凈室運(yùn)行分為三大范疇，每一范疇內(nèi)都包含了自動(dòng)化儀表控制與監(jiān)測(cè)技術(shù)。凈化工程是系統(tǒng)性很強(qiáng)的一項(xiàng)工程，它包括凈化圍護(hù)結(jié)構(gòu)、凈化空調(diào)系統(tǒng)。整個(gè)系統(tǒng)是否合理、是否最終能夠滿足空氣凈化級(jí)別和生產(chǎn)工藝所要求的各項(xiàng)指標(biāo)或參數(shù)，取決儀器儀表的檢測(cè)和自動(dòng)化程度的高低。對(duì)于整個(gè)凈化空調(diào)系統(tǒng)來說，凈化空調(diào)機(jī)組和風(fēng)管是這個(gè)系統(tǒng)的重要組成部分。它的作用是對(duì)空氣進(jìn)行過濾、加熱或降溫，加濕或減濕后送至各需要的場(chǎng)所。但是送入房間的空氣是否達(dá)到了潔凈要求，空氣的溫度、濕度是否滿足生產(chǎn)要求，則需要由檢測(cè)和控制設(shè)備來實(shí)現(xiàn)。1．潔凈室空調(diào)系統(tǒng)的特點(diǎn)· 風(fēng)機(jī)的壓頭高，風(fēng)量大· 溫度，濕度控制精度高· 正負(fù)微差壓控制精度高· 過濾系統(tǒng)效能要求高· 變風(fēng)量調(diào)節(jié)要求高· 要求具備高的穩(wěn)定性和可靠性針對(duì)于潔凈室工程的特點(diǎn)，在控制儀表和檢測(cè)儀表方面需要更高的可靠性能和穩(wěn)定性能，這樣不僅經(jīng)能達(dá)到...
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手術(shù)室的發(fā)展歷史外科手術(shù)的歷史可以追溯到遙遠(yuǎn)的新石器時(shí)代。隨著時(shí)代的進(jìn)化，外科學(xué)得到了飛速的發(fā)展，而外科學(xué)的發(fā)展又帶動(dòng)了無菌法和消毒法的發(fā)展。到了19世紀(jì)，麻醉學(xué)誕生，首例麻醉下的手術(shù)誕生于1846年的美國(guó)一位齒科醫(yī)生。盡管當(dāng)時(shí)的場(chǎng)地設(shè)在圖書館的教室內(nèi)，盡管沒有一個(gè)人身著白大衣，但是這的確揭開了手術(shù)室歷史的序幕。如今，手術(shù)室有了日新月異的變化，下面就著重分析下手術(shù)室墻面材料。潔凈手術(shù)室墻面材料品種繁多，目前比較通用的有4種金屬材料（電解鋼板、不銹鋼板、防銹鋁板及彩鋼板），和2種非金屬材料（卡索板、千思板）。隨著醫(yī)院建設(shè)要求的提高，越來越多的新型板材逐漸被應(yīng)用到醫(yī)院建設(shè)中，其中由美國(guó)銀基公司研制的安全消毒板就成了現(xiàn)代醫(yī)院墻面材料中的新寵，被廣泛應(yīng)用于醫(yī)院手術(shù)室墻面、ICU病房、實(shí)驗(yàn)室、藥廠等區(qū)域。由于手術(shù)室對(duì)潔凈程度要求較高，其墻面材料的布局建設(shè)要比一般建筑材料更精密。 這些板材各有什么特性？哪種更適合醫(yī)院？ 電解鋼板 01電解鋼板是國(guó)內(nèi)外專家首先推薦的最佳材料，電解鋼板是現(xiàn)場(chǎng)加工的，采用焊接，再亞弧焊接，面層刮磨進(jìn)口原子灰，噴涂進(jìn)口抗菌涂料。手術(shù)室建成后，整體無縫，氣密效果較好，造價(jià)不高。在使用中，如面層受到強(qiáng)力的沖撞而損壞，可現(xiàn)場(chǎng)刮磨的原子灰，噴涂相同顏色涂料，或在使用數(shù)年后，再噴涂一遍抗菌涂料，手術(shù)室又和新的一樣。因此，電解鋼板是國(guó)內(nèi)外...
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前言：一個(gè)工藝技術(shù)先進(jìn)的大規(guī)模集成電路工廠的硅片制造過程中，全部工藝大約要使用50種不同的電子氣體。其中大部分為特種氣體。本文就特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與施工方面做一個(gè)簡(jiǎn)單描述。一：概念 特氣輸送系統(tǒng)是指：將特種氣體從氣源端、根據(jù)工藝設(shè)備的工藝需求、通過對(duì)流量和壓力等參數(shù)的控制，通過管道、無二次污染、穩(wěn)定的輸送到工藝設(shè)備的用氣點(diǎn)。其基本流程是：氣源→控制柜→管道傳輸→VMB→用氣點(diǎn)二：分類 特種氣體根據(jù)氣體性質(zhì)不同一般分為：惰性氣體、易燃易爆氣體、有毒氣體和腐蝕性氣體；根據(jù)供應(yīng)包裝的不同分為：特種氣體和大宗特種氣體。三：供氣系統(tǒng)的選擇 1. 簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng) 簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng)主要針對(duì)4英寸及以下半導(dǎo)體芯片廠、半導(dǎo)體材料的科研機(jī)構(gòu)以及一些單臺(tái)的工藝設(shè)備等。它們的制程簡(jiǎn)單，通常不需要連續(xù)性供氣，對(duì)氣體供應(yīng)系統(tǒng)的投資預(yù)算低。由于氣體流量小，不經(jīng)常使用，特種氣體氣源多采用普通鋼瓶（2. 常規(guī)供氣系統(tǒng) 常規(guī)供氣系統(tǒng)主要應(yīng)用于4-6英寸 大規(guī)模集成電路廠，50MW以下的太陽能電池生產(chǎn)線，發(fā)光二極管的芯片工序線以及其它用氣量中等規(guī)模的電子行業(yè)。對(duì)氣體純度控制的要求不苛刻，系統(tǒng)配備在滿足安全的前提下盡量簡(jiǎn)單，節(jié)省投資。特種氣體采用普通鋼瓶（3.大宗特氣供氣系統(tǒng)大規(guī)模供氣系統(tǒng)主要針對(duì)大規(guī)模量產(chǎn)的8-12英寸（1英寸=25.4毫米）超大規(guī)模集成電...
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