一、電子工廠生產(chǎn)工藝對(duì)受控環(huán)境的要求

電子工廠如大規(guī)模集成電路(LSI)、超大規(guī)模集成電路(VLSI)等微電子(IC)工廠；液晶顯示器(LCD)、彩色薄膜液晶顯示器(TFT-LCD)、等離子顯示器(PDP)以及發(fā)光二極管(LED)、有機(jī)電致發(fā)光顯示器(OLED)、高分子有機(jī)電致發(fā)光顯示器(PLED) 等光電子工廠都離不開潔凈的生產(chǎn)環(huán)境。生產(chǎn)所要求的環(huán)境不僅僅有：建筑圍護(hù)、結(jié)構(gòu)、空氣、水以及氣體、溶劑等原材料，而且還有聲、光、電、磁、振等各種環(huán)境。例如：建筑的形式和層高、結(jié)構(gòu)的承重、圍護(hù)結(jié)構(gòu)的裝修材料；環(huán)境空氣的潔凈度、溫濕度、靜壓力；水和氣體的純度和粒子、重金屬的含量以及環(huán)境的噪聲、照度、靜電、電磁屏蔽、微振等等?？偟膩碚f，電子工廠生產(chǎn)工藝對(duì)環(huán)境的要求可用大、凈、精、純、嚴(yán)五個(gè)字來形容。

●大：生產(chǎn)工藝要求潔凈室的面積越來越大。

●凈：電子工廠，尤其是微電子(IC)前工序和光電子(TFT-LCD) 前工序的潔凈室對(duì)環(huán)境潔凈度的要求越來越凈。

●精：電子工廠生產(chǎn)工藝對(duì)環(huán)境空氣溫、濕度的控制精度要求越來越精。

●純：大規(guī)模集成電路前工序?qū)ιa(chǎn)用的高純水、高純氣體以及高純?nèi)軇┑募兌纫笤絹碓郊儭?/span>

●嚴(yán)：電子工業(yè)生產(chǎn)不僅對(duì)環(huán)境的潔凈度，溫、濕度有嚴(yán)格的要求，同時(shí)對(duì)環(huán)境的聲(噪聲)、光(照度)、電(靜電)、磁(電磁場(chǎng)屏蔽)、振(微振)等都有嚴(yán)格的要求。尤其微電子生產(chǎn)，對(duì)環(huán)境的分子級(jí)污染提出了新的嚴(yán)格的要求。分子污染是指環(huán)境空氣中要嚴(yán)格控制例如鈉(Na)元素、碳(CO_x)元素、硫(SO_x)元素、(NO_x) 元素等對(duì)半導(dǎo)體工藝有害的元素。因此在處理空氣時(shí)還要用淋水(淋自來水、淋純凈水)來吸收室外空氣中的有害分子成份和用化學(xué)過濾器來吸附新風(fēng)中的有害分子成份。

二、電子工廠高級(jí)別潔凈室多采用混合流潔凈室

為了降低潔凈室的建造初投資和運(yùn)行能耗，電子工廠的高級(jí)別潔凈室一般把ISO1級(jí)~ISO5級(jí)這樣高凈化級(jí)別的垂直單向流用在工藝生產(chǎn)最重要、最關(guān)鍵的部位，用大面積的非單向流(ISO 6級(jí)~ISO8級(jí))替代大面積的單向流，也就是把垂直單向流與非單向流組合在一個(gè)潔凈室內(nèi)，構(gòu)成混合流潔凈室?；旌狭鳚崈羰业膬艋照{(diào)系統(tǒng)一般采用新風(fēng)機(jī)組(MAU)加風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組(FFU) 加干冷盤管(DC)的送風(fēng)方案。當(dāng)前國(guó)內(nèi)外微電子、光電子等大面積的生產(chǎn)廠房廣泛采用的混合潔凈室，具有調(diào)節(jié)方便、節(jié)能顯著、靈活性強(qiáng)，適應(yīng)電子工業(yè)工藝的更新?lián)Q代，又能節(jié)能非生產(chǎn)面積和非生產(chǎn)空間等優(yōu)點(diǎn)，是最佳的空氣處理方案和最優(yōu)秀的送風(fēng)系統(tǒng)。

●方案中的新風(fēng)機(jī)組(MAU)有五大任務(wù)：

(1)新風(fēng)機(jī)組要有維持潔凈室內(nèi)的正壓和補(bǔ)充工藝設(shè)備排風(fēng)的足夠新鮮空氣量，以防止外面污染空氣的滲入。一般情況新風(fēng)量應(yīng)該等于潔凈室的排風(fēng)量加上維持室內(nèi)正壓的滲漏風(fēng)量之和。

(2)新風(fēng)機(jī)組要能確保潔凈室內(nèi)嚴(yán)格要求的相對(duì)濕度。因此夏季新風(fēng)機(jī)組要有足夠的降溫去濕能力，在冬季還要求一定的加濕手段。

(3)新風(fēng)機(jī)組內(nèi)要設(shè)置多級(jí)過濾器(粗效、中效、高效過濾器)以保護(hù)FFU終端的超高效過濾器。

(4)新風(fēng)機(jī)組要能吸收和吸附室外大氣內(nèi)中的有害氣體成份，以消除新風(fēng)中的分子污染。為此，新風(fēng)機(jī)組內(nèi)還應(yīng)設(shè)置淋水室以吸收N、S、等有害的元素。淋水室有一級(jí)淋水和兩級(jí)淋水(一級(jí)淋自來水、二級(jí)淋純凈水)，同時(shí)還要設(shè)置化學(xué)過濾器(活性炭過濾器)用以吸附新風(fēng)中的有害分子成份。

(5)在黃河以北，尤其是我國(guó)的東北地區(qū)，在冬季室外空氣溫度在零下十幾度或幾十度。因此，新風(fēng)機(jī)組在北方需要考慮防凍預(yù)熱的措施。

三、電子工廠生產(chǎn)工藝對(duì)高級(jí)別潔凈室的適應(yīng)性和靈活性的要求非常強(qiáng)

集成電路等微電子的生產(chǎn)工藝發(fā)展規(guī)律告訴我們，每隔2~3年生產(chǎn)工藝發(fā)展就要上一個(gè)臺(tái)階，其芯片的集成度就要增加4倍，特征尺寸(線寬)就要縮小30%；而繼微電子之后的光電子生產(chǎn)工藝如薄膜液晶顯示器(TFT-LCD) 發(fā)展速度比微電子還要快，一般規(guī)律是每隔1~2年就要更新一代。在潔凈室設(shè)計(jì)和建造的全過程中，自始至終都要考慮到如何給電子生產(chǎn)工藝的發(fā)展提供更加靈性生產(chǎn)環(huán)境。

四、電子工廠 高級(jí)別潔凈室建造時(shí)要特別要強(qiáng)調(diào)安全性和可靠性

建造高級(jí)別潔凈室需要巨額的初投資，使用高級(jí)別潔凈室時(shí)還要付出昂貴的運(yùn)行費(fèi)用，其目的就是為了生產(chǎn)出高質(zhì)量、高可靠、高成品率的電子產(chǎn)品。為此，設(shè)計(jì)和建造潔凈室時(shí)要把高可靠性、高安全性放在第一位。即要保證電子工業(yè)生產(chǎn)工藝所要求的溫度、濕度、潔凈度、風(fēng)速、壓力、噪聲、照度以及靜電、微振等所有受控環(huán)境參數(shù)的可靠、穩(wěn)定。同時(shí)，更要從安全的角度上如：結(jié)構(gòu)的承重、防火、防爆、防毒方面確保人員的生命和財(cái)產(chǎn)的安全。要遵照“以人為本”的方針，把人員生命和財(cái)產(chǎn)的安全作為潔凈室建造的頭等大事來抓。

五、電子工業(yè)中的微電子和光電子工藝的高科技產(chǎn)業(yè)，同時(shí)又是高投入、高能耗、高污染的產(chǎn)業(yè)，生產(chǎn)過程排放的廢水、廢氣都含有大量的酸、堿、有機(jī)、重金屬等有毒有害物質(zhì)，這些排放物對(duì)周圍環(huán)境會(huì)造成嚴(yán)重的污染。從環(huán)保的角度要對(duì)排放的廢水、廢氣和廢物要進(jìn)行嚴(yán)格的治理，使之處理后都能達(dá)到國(guó)家和地方的環(huán)保指標(biāo)才能排放。這也是潔凈室建造中非常重要的一件大事。

總之，電子工廠高級(jí)別的潔凈室的設(shè)計(jì)和建造一定要了解其建造的特點(diǎn)，解決其中的各個(gè)課題才能建造出高質(zhì)量、高安全、高可靠、省投資、省運(yùn)用費(fèi)，而且確保生產(chǎn)工藝要求的各種環(huán)境參數(shù)的潔凈室。

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