一、凈化空調(diào)系統(tǒng)
目前，凈化空調(diào)主要有以下三種形式：
A.二次回風(fēng)系統(tǒng)
這種系統(tǒng)中，室內(nèi)一次回風(fēng)和新風(fēng)混合后，經(jīng)過初效過濾器、加熱(冬季工況)、加濕(冬季工況)、冷卻(夏季工況)處理后與二次回風(fēng)混合，再經(jīng)再熱、風(fēng)機加壓、中效過濾器，最后經(jīng)末端高效送風(fēng)口送至室內(nèi)。
該系統(tǒng)一般設(shè)計為定風(fēng)量，風(fēng)機變頻控制主要為了克服過濾器阻力的變化。
室內(nèi)相對濕度控制：通過室內(nèi)相對濕度傳感器，夏季控制冷水盤管的電動調(diào)節(jié)閥，冬季控制加濕器(干蒸氣加濕時)或控制熱水盤管的電動調(diào)節(jié)閥(循環(huán)水加濕時)。
室內(nèi)溫度控制：通過室內(nèi)溫度傳感器控制再熱盤管的電動調(diào)節(jié)閥。
該系統(tǒng)簡單，運行控制方便，可用于凈化級別ISO7級以下、室內(nèi)排風(fēng)量確定的潔凈室。隨著凈化級別的提高，系統(tǒng)風(fēng)量增大，機房面積增大，而且龐大的送回風(fēng)管道難以布置，因此在凈化級別較高、面積較大、工藝排風(fēng)不穩(wěn)定的廠房中極少使用
B.新風(fēng)機組+循環(huán)空調(diào)器系統(tǒng)
這種系統(tǒng)中，新風(fēng)獨立處理，新風(fēng)機組設(shè)于新風(fēng)空調(diào)機房內(nèi)，循環(huán)空調(diào)器設(shè)于生產(chǎn)廠房的吊頂上方。新風(fēng)經(jīng)初效過濾器、加熱(冬季工況)、加濕(冬季工況)、冷卻(夏季工況)、再熱(調(diào)試時室內(nèi)熱負(fù)荷較小時使用)、風(fēng)機加壓、中效過濾器處理后送至各循環(huán)空調(diào)器。新風(fēng)和室內(nèi)回風(fēng)在循環(huán)空調(diào)器中經(jīng)冷卻、風(fēng)機加壓、亞高效過濾處理后經(jīng)末端高效送風(fēng)口送至室內(nèi)。
該系統(tǒng)一般設(shè)計為變風(fēng)量，室內(nèi)壓差傳感器控制新風(fēng)機變頻器保證室內(nèi)的壓力要求，室內(nèi)微粒傳感器控制循環(huán)空調(diào)風(fēng)機變頻器保證室內(nèi)潔凈度要求。
室內(nèi)相對濕度控制：通過室內(nèi)相對濕度傳感器，夏季控制冷水盤管的電動調(diào)節(jié)閥，冬季控制加濕器(干蒸氣加濕時)或控制熱水盤管的電動調(diào)節(jié)閥(循環(huán)水加濕時)。
室內(nèi)溫度控制：通過室內(nèi)溫度傳感器控制循環(huán)空調(diào)的電動調(diào)節(jié)閥
該系統(tǒng)控制精度較高，只有新風(fēng)機組置于機房，因此機房面積較小，常用于凈化級別ISO6級以下、幾乎所有的集成電路封裝測試廠房。隨著凈化級別的提高，該系統(tǒng)同樣面臨空調(diào)送風(fēng)管較大，循環(huán)機組增大，占用吊頂上方空間較多的問題，因此，凈化級別在ISO6級以上，環(huán)境對振動要求較高的場合很少采用此系統(tǒng)。
C.新風(fēng)機組+風(fēng)機過濾單元(FFU) +干冷卻盤管(DCC)系統(tǒng)這種系統(tǒng)中，新風(fēng)獨立處理，新風(fēng)機組設(shè)于新風(fēng)空調(diào)機房內(nèi)，循環(huán)空調(diào)器設(shè)于生產(chǎn)廠房的吊頂上方。新風(fēng)經(jīng)初效過濾器、加熱(冬季工況)、加濕(冬季工況)、冷卻(夏季工況)、再熱(調(diào)試時室內(nèi)熱負(fù)荷較小時使用)、風(fēng)機加壓、中效過濾器、高效過濾器處理后與經(jīng)過置于下技術(shù)夾層的干盤管(DDC)處理后的回風(fēng)在回風(fēng)夾道混合，再經(jīng)置于吊頂上的風(fēng)機過濾單元(FFU)送至室內(nèi)。
該系統(tǒng)一般設(shè)計為變風(fēng)量， 室內(nèi)壓差傳感器控制新風(fēng)機變頻器保證室內(nèi)的壓力要求，室內(nèi)微粒傳感器控制FFU變頻器保證室內(nèi)潔凈度要求。
室內(nèi)相對濕度控制：與上一系統(tǒng)相同。
室內(nèi)溫度控制：通過室內(nèi)溫度傳感器控制干盤管的電動調(diào)節(jié)閥。
該系統(tǒng)控制精度較高，系統(tǒng)靈活,特別適用于工藝布局不斷變化的芯片前工序生產(chǎn)廠房；然而這種形式的空調(diào)系統(tǒng)需要較大的上、下技術(shù)夾層，投資較大，因此多用于凈化級別高、因配管需要而需設(shè)置下技術(shù)夾層的芯片前工序生產(chǎn)廠房。
二、潔凈室排煙系統(tǒng)
國內(nèi)規(guī)范對于大面積的潔凈室是否需要設(shè)置機械排煙未作出明確的強制性條文要求：僅《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》(GB50073-2001)對潔凈廠房疏散走廊應(yīng)設(shè)置機械排煙提出了黑體強制性條文的明確要求。最新的《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》(GB50472-2008) 第7.6.1條延續(xù)《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》的規(guī)定，也只對潔凈廠房疏散走廊設(shè)置機械排煙提出了黑體強制性條文的明確要求：但是在條文解釋中又提到并不是僅僅潔凈廠房疏散走廊設(shè)置機械排煙系統(tǒng)，如果空間允許，并且工程項目業(yè)主希望設(shè)置機械排煙系統(tǒng)的，設(shè)計單位應(yīng)密切配合進(jìn)行空間協(xié)調(diào)，做好機械排煙系統(tǒng)的設(shè)計。同時在第7.6.2條中，又規(guī)定潔凈廠房排煙設(shè)施的設(shè)置應(yīng)符合國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB50016的有關(guān)規(guī)定；對于當(dāng)同一防火分區(qū)的丙類潔凈室內(nèi)人員密度小于0.02人/m2,且安全疏散距離小于80m時，潔凈室可不設(shè)置機械排煙系統(tǒng)。
其實，集成電路生產(chǎn)企業(yè)的業(yè)主通常會對整廠進(jìn)行投保，由于此類生產(chǎn)中使用多種易燃易燥氣體或液體，火災(zāi)危險性極大，因此保險商均要求設(shè)置機械排煙系統(tǒng)，否則會增加保費。所以，在集成電路生產(chǎn)廠房潔凈室內(nèi)設(shè)置機械排煙系統(tǒng)是不可避免的：同時因潔凈室密閉性較好，應(yīng)考慮補風(fēng)措施。目前此類廠房國內(nèi)外的排煙方式有三種：上排煙、下排煙、上下結(jié)合排煙。
A.上排煙：與目前其它場合的機械排煙系統(tǒng)類似?；馂?zāi)時，打開設(shè)于潔凈室吊頂上的排煙口，開啟排煙風(fēng)機排煙，排煙時關(guān)閉該區(qū)域的FFU，新風(fēng)機組繼續(xù)運行，通過回風(fēng)夾道進(jìn)行補風(fēng)。該系統(tǒng)較常用，但存在的問題是，火勢較小時，該排煙方式會迅速破壞潔凈室的環(huán)境，工藝設(shè)備會受到污染損壞，因此當(dāng)在下技術(shù)夾層出現(xiàn)火災(zāi)或在潔凈室出現(xiàn)危害性較小并能被迅速撲滅的小火時，因啟動了排煙系統(tǒng)而引起較大的經(jīng)濟(jì)損失，這是業(yè)主或保險商所不愿意看到的。
B.下排煙：排煙口設(shè)于下技術(shù)夾層?；馂?zāi)時，打開排煙口和排煙風(fēng)機進(jìn)行排煙，新風(fēng)機組繼續(xù)運行，通過FFU補風(fēng)，煙氣從下技術(shù)夾層排除。該方式對保護(hù)潔凈室環(huán)境有利，但弊端是，只要煙氣的上升速度超過FFU的下吹速度時，煙氣就會積聚在潔凈室上部而不被排除，因此該方式只有火災(zāi)強度較小時才有效，因而很少被采用。
C.上下結(jié)合排煙：該方式將以上兩種方式結(jié)合使用，并在下技.術(shù)夾層和潔凈室吊頂下同時設(shè)置煙感。潔凈室小火或僅下技術(shù)夾層火災(zāi)時，且僅當(dāng)設(shè)于下技術(shù)夾層的煙感探測到煙霧時，啟用下排煙模式：當(dāng)火勢增強，使得設(shè)于潔凈室吊頂下的煙感探測到煙霧時，停止下排煙，啟用上排煙模式。該系統(tǒng)在最大限度保證生產(chǎn)環(huán)境和工藝設(shè)備的同時，又能保證排煙效果，因此宜推薦采用，但是實際控制中存在尺度把握不準(zhǔn)的問題，即很難及時區(qū)分大火小火的問題。目前，也有設(shè)計項目中，把上、下排煙口兼用于潔凈室內(nèi)由于工藝機臺的化學(xué)品或者氣體泄露造成異味所需要的事故排風(fēng)。
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