一、微電子工業(yè)潔凈廠房設計的相關內容探討
作為微電子工業(yè)生產中重要的設施組成之一,潔凈廠房生產應用中所發(fā)揮的作用巨大,并包含了多個組成部分,像空氣凈化系統(tǒng)、高純氣體供應系統(tǒng)等。
微電子工業(yè)潔凈廠房設計的特點包括:(1)在潔凈廠房設計方案形成過程中,需要根據(jù)實際情況,對空氣潔凈等級、高純物質等進行充分考慮,滿足相應的技術要求;(2)為了提高微電子工業(yè)潔凈廠房實踐應用中的潔凈度,需要與之相關的專業(yè)操作中不引入或少引入污染物,并注重不同專業(yè)間的配合操作;(3)微電子工業(yè)潔凈廠房設計應達到安全生產及環(huán)保要求,且其生產中污染物的排放應達到行業(yè)標準要求。同時,為了更好地適應時代的發(fā)展要求,微電子工業(yè)潔凈廠房設計中應考慮靈活性要求。除此之外,在微電子工業(yè)潔凈廠房設計方法運用中,需要注重其位置選擇、總平面布置及平面布置,滿足生產工藝要求,提升潔凈廠房設計水平。
二、微電子工業(yè)潔凈廠房的設計分析
1.潔凈廠房暖通空調的設計分析
在實現(xiàn)微電子工業(yè)潔凈廠房科學設計的過程中,需要在氣體動力專業(yè)、弱電專業(yè)、建筑專業(yè)等不同專業(yè)的配合作用下,保持潔凈廠房良好的設計效果。實踐中進行微電子工業(yè)潔凈廠房暖通空調設計工作時,可從以下方面入手:
注重生產區(qū)凈化空調系統(tǒng)與動力支持區(qū)降溫空調系統(tǒng)設計。在對凈化空調系統(tǒng)進行設計時,設計人員應強化自身的責任意識,且在行業(yè)技術規(guī)范的要求下,落實好相應的設計工作。在該系統(tǒng)設計工作中,需要做到:根據(jù)潔凈室的實際情況,借助計算機系統(tǒng)的應用優(yōu)勢,在計算機三維空間中對潔凈區(qū)空氣中懸浮粒子潔凈度等級進行充分考慮,確定不同空氣潔凈度等級下的粒徑及最大濃度極限;為了提升凈化空調系統(tǒng)實踐應用水平,需要設計人員在其設計中控制好該系統(tǒng)所在區(qū)域的溫度、濕度、所在區(qū)域的潔凈度、壓力等參數(shù):結合生產區(qū)凈化空調系統(tǒng)的功能特性,需要設置好高級別的潔凈室,并注重化學過濾器的配合使用,實現(xiàn)新風高效處理的同時提高分子污染物處理效率;選用性能可靠的空氣處理設備、風管材質等,并加強它們的安裝過程控制,確保生產區(qū)凈化空調系統(tǒng)的穩(wěn)定運行。同時,應重視凈化空調系統(tǒng)技術的高效利用,且在集中送風及風機過濾單元送風方式的配合作用下,提高凈化空調系統(tǒng)運行效率。在微電子工業(yè)潔凈廠房暖通空調設計過程中,也需要對與之相關的綜合動力站降溫空調系統(tǒng)、生產區(qū)生產廢氣通風系統(tǒng)、生產區(qū)事故排風系統(tǒng)、消防排煙系統(tǒng)等系統(tǒng)進行設計分析。在此期間,應根據(jù)微電子工業(yè)生產的實際要求及潔凈廠房暖通空調的功能特性,選擇性能可靠的設備,且在不同專業(yè)的共同支持下,完善相應的系統(tǒng)設計方案,促使?jié)崈魪S房暖通空調設計更具合理性,從而滿足潔凈廠房的設計要求。
2.潔凈廠房的給排水設計分析
在微電子工業(yè)潔凈廠房給排水設計過程中,需要注重其中的生活給排水系統(tǒng)、生產給排水系統(tǒng)、消防給水系統(tǒng)及工藝冷卻水系統(tǒng)設計,以便增強潔凈廠房在微電子工業(yè)生產中的實踐應用效果。具體表現(xiàn)在以下方面:
(1)實踐中的生活給排水系統(tǒng)與生產給排水系統(tǒng)設計。在生活給排水系統(tǒng)設計過程中,設計人員應注重水源資料收集,對不同的水質進行深入分析,并結合不同季節(jié)水溫變化情況,構建出功能強大的基于半導體項目的超純水系統(tǒng),從而提升微電子工業(yè)潔凈廠房給水系統(tǒng)的實踐應用水平。同時,應結合建筑領域給排水的設計規(guī)范要求,選擇性能可靠的排水設備及材料,構建出環(huán)境適用性良好的排水系統(tǒng),從而為潔凈廠房生活給排水系統(tǒng)的正常運行提供保障:在生產給排水系統(tǒng)設計過程中,應結合微電子工業(yè)潔凈廠房的實際情況,將該系統(tǒng)的設計工作落到實處,選用質量可靠的給排水設備并加以使用。
(2)實踐中的消防給水系統(tǒng)及工藝冷卻水系統(tǒng)設計。
在微電子工業(yè)潔凈廠房消防給水系統(tǒng)設計中,需要設置功能特性良好的自動噴灑滅火系統(tǒng)、水噴霧滅火系統(tǒng)、泡沫一自動噴水聯(lián)用滅火系統(tǒng)及氣體滅火系統(tǒng),并根據(jù)不同系統(tǒng)的應用優(yōu)勢,設置于潔凈廠房的指定區(qū)域:在工藝冷卻水系統(tǒng)設計過程中,需要加強環(huán)境適應性良好的工藝設備使用。
3.潔凈廠房的氣體動力設計分析
(1)功能強大的潔凈壓縮空氣系統(tǒng)設計。在該系統(tǒng)設計過程中,設計人員應了解氣體動力專業(yè)內容,像真空、冷凍等系統(tǒng)的功能特性,并設置好室內外氣體管道,落實好相應的設計工作,使得潔凈壓縮空氣系統(tǒng)實踐應用中能夠達到預期效果。在此期間,應配置好系統(tǒng)所需的過濾器、儲氣罐、空壓機、干燥器等,優(yōu)化該系統(tǒng)生產應用中的服務功能。
(2)加強潔凈廠房氣體動力工程設計。在這類工程設計過程中,需要注重綜合動力站、換熱站等設施的配合使用,并根據(jù)空調負荷變化情況,選用運行效率高的機組,且在曖通專業(yè)、氣體動力專業(yè)等不同專業(yè)的支持下,開展其所需的設計工作,實現(xiàn)這類工程的科學設計。
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