一、設計的指導思想
在電子工業(yè)潔凈廠房設計中,做到技術先進、經濟適用、安全可靠、節(jié)約資源、降低能耗、確保質量、符合勞動衛(wèi)生和環(huán)境保護要求,滿足防火及疏散的要求,并根據實際情況為生產發(fā)展及工藝改進的需要預留條件,主要歸納為下面幾點:
1)滿足工藝改造和擴大規(guī)模的需要,實現在建筑面積不增加、建筑高度不改變的情況下,進行生產工藝和生產設備的調整。2)廠房的主體結構宜采用大空間、大跨度的柱網,以便適應產品生產工藝調整,生產規(guī)模的擴大或產品的升級換代等需要。3)廠房內不應采用內墻承重體系,避免因承重內墻的固定不變,妨礙生產工藝或設備的調整。4)安全出口應合理分散布置,并應設有明顯的疏散標志,以利于人員的安全疏散。5)應加強消防技術措施,完善各種危險出現的探測報警及撲救設施。
二、技術方案
1)主要建筑空間應設有技術夾層、技術夾道及相應輔助用房。2)主體結構形式、構造、材質均應符合安全、可靠、耐火的要求。3)消防措施設計有室內外消防栓、自動噴水滅火系統(tǒng)、滅火器、火災報警系統(tǒng),關鍵設備自帶火災報警系統(tǒng)和滅火裝置,以及回風氣流中設有靈敏度嚴于0.01%obs/m的高靈敏度早期火災報警探測系統(tǒng)、應急照明及疏散指示等。4)主要生產車間或人員密集車間應布置于場地平緩、視線開闊、消防通道便捷、易于消防撲救的場所。
三、電子潔凈廠房共性
電子工業(yè)潔凈廠房具有以下主要特點:
1)在電子產品如電子材料、半導體器件、集成電路、液晶顯示器件等生產過程中,需要使用易燃易爆的氣體、化學品等,它們對潔凈廠房構成潛在的火災威脅。2)一些電子工業(yè)潔凈廠房的面積大、體積大,并且常常是平面布置、空間布置曲折,增加了疏散路線上的障礙,可能延長安全疏散的時間。3)潔凈廠房內電子產品生產過程需要應用各種類型的精密、貴重的設備、儀器,建設投資巨大,一旦失火,將造成極大的損失。
鑒于電子工業(yè)潔凈廠房相比普通工業(yè)廠房有較為突出的特點,國家建設部專門針對此類建筑制定專用規(guī)范,即《電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范》。
四、防火及疏散
隨著電子工業(yè)技術的發(fā)展,如今電子產品生產工藝的連續(xù)性或生產過程的自動化傳輸設備的需要,電子潔凈廠房的潔凈室確實不能按防火分區(qū)要求進行分隔。
我國建設了一-批大規(guī)模集成電路芯片生產用潔凈廠房、TFT-LCD生產用潔凈廠房,它們的潔凈室面積和防火分區(qū)均大大超過現行國家標準《潔凈廠房設計規(guī)范》、《建筑設計防火規(guī)范》規(guī)定的面積。
此類廠房由于生產工藝設備體積大、連續(xù)性生產、自動化傳輸等因素,致使要實現廠房任一點到安全出口的距離符合現行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》的規(guī)定十分困難。
鑒于上述情況,《電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范》規(guī)定:丙類生產的電子工業(yè)潔凈廠房的潔凈區(qū),在關鍵生產設備設有火災報警和滅火裝置,回風氣流中設有靈敏度嚴于0.01%o bs/m的高靈敏度早期火災報警探測系統(tǒng)后,其每個防火分區(qū)的最大允許建筑面積可按生產工藝要求確定,安全疏散距離可放寬至《建筑設計防火規(guī)范》規(guī)定的1.5倍。至于更特殊的,如TFT-LCD生產工藝達到8代生產線,在生產人員滿足密度小于0.02人/m2時,疏散距離在不超過120 m情況下可按工藝要求確定。
由于電子工業(yè)潔凈廠房空間密閉,且設有人員凈化、物料凈化設施,一旦出現火情,?消防人員進入潔凈室的路徑較為困難,為此《電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范》規(guī)定潔凈區(qū)各層外墻應設有供消防人員通往潔凈區(qū)的入口。
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