檢測是凈化工程建設之后比較重要的一個項目,在檢測凈化工程各項指標過程中,有部分潔凈度檢測不合格,有的是廠房局部,也有整個工程。如果檢測不合格,雖然甲乙雙方通過整改、調試、清沽等。費勁千辛萬苦達到了工程的要求,但是卻浪費了大量的人力和物力,有些得不償失了。其實,有些原因和缺陷在檢測前是完全可以避免的。據(jù)賽特凈化設備有限公司多年經(jīng)驗了解到,造成凈化工程潔凈度不合格的主要原因有:1.凈化車間的設計不合理這種現(xiàn)象比較少見,主要是在一些小型的凈化級別要求不太高的潔凈室建造上?,F(xiàn)在凈化的競爭比較激烈,一些施工單位為了得到工程,在投標中給出了較低的報價。在凈化工程的后期施工中,利用一些單位不太懂行的情況,偷工減料,使用功率較低的空調通風壓縮機組,使送風功率與凈化面積不匹配,導致潔凈度不合格。2.用低檔產(chǎn)品替代高檔產(chǎn)品在潔凈室高效過濾器的應用上,國家規(guī)定在潔凈度10萬級或高于10萬級以上的空氣凈化處理,應采用初效、中效、高效過濾器的三級過濾。而筆者在驗證過程中,曾發(fā)現(xiàn)某大型凈化工程在l萬級的凈化級別上采用亞高效空氣過濾器代替高效空氣過濾器,從而造成了潔凈度不合格。最終更換了高效過濾器才符合了認證的要求。3.回風管道或回風口設計、調試不好在設計方面的原因,有時因空間所限未能采用“頂送側回”或者回風口數(shù)量不夠,在設計方面的原因排除后,回風口的調試也是重要的工工環(huán)節(jié)。如果調試不好,回風口阻力過大,回風量...
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按指定方向沿著建筑物縫隙的氣流可以減少有害微粒的流通,如無較強干擾氣流,0.5-1.0M/S的流速可控制較輕粉塵和生物粒子。通過確定相鄰空間的壓力及壓差以控制氣流方向。在確定壓差的情況下,ISPE介紹了氣流通過縫隙(如門縫)的簡化計算方法。PV=(V/4005)2,V=Q/AVP=(Q/4005?A) 2 式中:4005為換算因子;V為速度,英尺/分,VP為速度壓力,此處設為房間壓差,英寸水柱;A為開孔面積,英尺為2;Q為空間流量,英尺3/分。當孔口面積為1ft2、風量為890ft3/min時,在孔口兩側可形成0.05in水柱壓差。結構縫隙會使室內滲漏風量大于計算風量,故ISPE建議再按每英尺2房間面積附加(0.05-0.5ft/min)風量,并通過滲漏測試進行調整。 原理二:根據(jù)潔凈車間相對正壓的值確定正壓換氣次數(shù),依次計算正壓滲漏風量。房間正壓換氣次數(shù)之間關系,可參照空調系統(tǒng)設計手冊的推薦數(shù)值。因潔凈車間結構、密封程度等都會影響滲漏風量,故此法用于估算,詳細設計時應兼顧其他因素。 壓差的測量與控制壓差的測量可采用兩種方式;不同房間之間;不同房間與同一個參照點之間。小型場所有限選擇不同等級區(qū)域之間的壓力,沒有氣鎖室時為潔凈室之間的壓差;大型設施通常采用共用參照點法,盡量減少傳感器數(shù)量,以減少復合誤差。 氣鎖室的設計在潔凈室出入口設氣鎖室,以...
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無塵車間工程項目在竣工完成之后,需要由相關人員對整個無塵車間的通風系統(tǒng)進行風量檢測和風速檢測。檢測的目的是了解風量和風速的偏差有多大,以便于工作人員現(xiàn)場調節(jié),要知道風速過大是會影響空氣過濾器的使用壽命以及可能會將空氣過濾器吹穿。風速過小又會直接影響車間內部空氣的循環(huán)從而影響無塵車間空氣的潔凈度,下面是賽特凈化設備有限公司整理并分享的風量和風速的檢測方法,感興趣的可以了解一下。 無塵車間風量和風速的檢測方法如下: 1、風量與風速的檢測務必最先開展,潔凈空調機組的各項實際效果務必是在設計的風量風速條件下得到。 2、風量檢測前務必查驗風機運作是不是一切正常,系統(tǒng)中各構件安裝是不是正確無誤,有無障礙和問題,所有的閥門應固定不動在一定的開啟位置上,且一定要實際測量被測風口和風管的規(guī)格尺寸。 3、檢測室內數(shù)字微風速儀器的最小刻度或讀值不可超過0.02m/s,通??梢杂脽崆蚴斤L速儀,必須測得分速度時,應選用超聲波三維風速計。 4、針對單向流無塵車間,可運用室截面平均風速和截面積乘積的方法明確送風量,垂直單向流無塵車間的測定截面取距室內地坪0.8m的無阻隔面(孔板、格柵除外)的水平截面,若有阻隔面,該測定截面應拉高至阻隔面以上0.25m;水平單向流無塵車間取距送風面0.5m的垂直于室內地坪的截面,截面上測點間隔不可超過1m,...
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潔凈室廠房空調系統(tǒng)首先是空調系統(tǒng),因此,一般空調系統(tǒng)的節(jié)能措施,如圍護結構保溫、系統(tǒng)變流量、排風熱回收、選用高效制冷機、水泵風機設備等,都可以適用于潔凈室廠房空調系統(tǒng)的節(jié)能設計和改造。同時,潔凈室廠房空調系統(tǒng)有自己的特點,也就有自己的系統(tǒng)節(jié)能特點和方式。 1 潔凈風量與空調風量分開 潔凈室送風的功能,一是空調(空氣進行溫、濕處理,滿足潔凈室的溫、濕度要求);二是凈化(空氣過濾滿足潔凈室的潔凈度要求)。一般情況下凈化風量大大超過空調風量。如果讓空調送風同時起到空調和凈化的作用,即空調風量和凈化風量不分開,所有的回風都要經(jīng)過空調箱集中處理。此非常大風量經(jīng)過空氣處理設備時,阻力會很大,風機耗能急劇增大。 同時,為了除濕,所有回風都要處理到露點狀態(tài),后為了不使室內溫度過低,還需對送風進行再熱。冷熱抵消,造成不必要的浪費。而如果把空調和凈化兩部分風量分開處理,凈化風量就只進行過濾處理,可大大縮短凈化風量輸送管道長度;而對于空調風量,由于風量變小,可以節(jié)省空氣冷熱處理,并且同時可以減小輸送斷面和輸送耗能。 在常見的潔凈空調送風方式中,集中送風方式、隧道式送風方式都沒有很好地將空調風量與潔凈風量分開。為了方便空調和凈化功能的分離,可充分利用房間結構就近完成。利用房間夾層將大部分潔凈風量直接送至頂層的高效過濾器處,而無需離開潔凈室,從而降低了潔凈風量的輸送能...
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芯片有著很強動力和潛力,隨著國內的半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,對芯片需求不斷增多,從LED/半導體/線路板芯片制備到器件封裝,對生產(chǎn)環(huán)境空氣品質都有較高的要求,空氣品質關系著成品率和產(chǎn)品品質。很多半導體工業(yè)都需要用到無潔凈室。今天小編就來詳細介紹一下半導體集成電路潔凈室的原理還有標準是什么?以及日常維護事項,一起往下看吧!【潔凈室】又稱為【無塵室】,是將一定空間范圍內之空氣的微塵粒子、有害氣體、細菌等污染物排除于外,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在一定需求范圍內,而給予特別設計之房間。也就是說這個受控的房間內之微塵粒子相當稀少。根據(jù)國標GB50073—2013,潔凈室的空氣潔凈度等級為1~9級。在具體實踐中,常參考美國標準FS 209E,其中的空氣潔凈度等級有1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級等,如表1-1所示。潔凈室應該具備哪些要素?基本上潔凈室應該要具備以下的功能:1、能去除空氣中漂浮之微塵粒子。2、能防止微塵粒子之產(chǎn)生。3、能控制溫度及濕度。這是因為密閉的環(huán)境需要溫度及濕度控制以符合人體舒適度,另一方面溫度及濕度也可以控制微生物的生長。其次,濕度過大也會影響到電子產(chǎn)品的品質。4、能調節(jié)壓力。這是為了要控制無塵室內為正壓或負壓。5、能調節(jié)溫度。6、能防止靜電。這是一定要的,電子產(chǎn)品怕靜電了,尤其是還未封裝的晶圓...
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1微電子廠房潔凈是暖通空調設計原因及方法分析1. 1 氣流組織方式垂直單向流為潔凈室內氣流流型,風機過濾單元機組在高效過濾器的作用下可以對空氣進行預處理,確??諝膺_標后再送入室內。微電子廠潔凈廠房和生產(chǎn)工藝并不全都適合風機過濾單元機組送風模式,但是此種送風模式因其具備一定的優(yōu)勢被越來越多的微電子廠房潔凈室所使用。因為風機過濾單元機組送風模式下潔凈室內壓力遠遠高于靜壓箱內壓力,塵粒從靜壓箱向室內滲透的情況較為少見。但是其他送風模式下則需要采取更為復雜的方法,如接觸填料密封等方法來確保潔凈室頂棚的密封性,因此達不到負壓密封的要求。這是導致越來越多的微電子廠潔凈室采用風機過濾單元機組送風模式的主要原因。此外,微電子廠潔凈室工藝的更新速度和調整速度均較快,工作人員可以對風機過濾單元機組進行增減,在控制其數(shù)量的基礎上確保潔凈室潔凈度滿足生產(chǎn)工藝的需求。由此可見,風機過濾單元機組送風模式靈活性較高,與其他送風模式相比更具優(yōu)勢。但是風機過濾單元機組送風模式也有一定的不足,該送風模式下設備需要在吊頂上安裝,因此會產(chǎn)生較大的噪音和振動,期間設備安裝成本較高,這也是微電子廠潔凈室暖通空調設計需要考慮的問題。1. 2 空調負荷計算估算是潔凈室內冷負荷計算的主要方式,其中估算指標包括生產(chǎn)工藝、操作人員數(shù)量以及圍護結構等。估算出來的潔凈室主生產(chǎn)區(qū)和光刻區(qū)冷負荷指標分別為 450...
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1、潔凈車間必須維持住一定的相對正壓,不同等級的潔凈車間之間的壓強不小于5Pa;潔凈車間與非潔凈車間之間的壓強以不小于10Pa,以防止低級潔凈車間空氣逆流到高級潔凈車間;2、溫度宜保持18~26℃按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負面影響,所以在光學構造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求。 當然,這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負面影響,所以在光學構造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求。 每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下,就達到了國際無塵標準的A級。而無塵車間是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照 明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等 性能之特性。...
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第二百一十七條:質量控制實驗室的人員、設施、設備應當與產(chǎn)品性質和生產(chǎn)規(guī)模相適應。企業(yè)通常不得進行委托檢驗,確需委托檢驗的,應當按照第十一章中委托檢驗部分的規(guī)定,委托外部實驗室進行檢驗,但應當在檢驗報告中予以說明。條款解讀:質量控制實驗室的人員、設備設施應當與其生產(chǎn)的產(chǎn)品所涉及的所有檢測項目、檢測工作量相適應;委托檢驗應當符合有關要求。檢查要點:1. 企業(yè)產(chǎn)品所需的實驗室設備是否齊全,是否配備與生產(chǎn)品種相適應的配件及消耗品,檢驗人員及數(shù)量是否同生產(chǎn)要求相適應;2. 實驗室布局是否合理,并有足夠的操作空間;3. 無菌檢查實驗室與微生物限度檢查實驗室是否分開,陽性菌室是否單獨設立,是否有直排;4. 實驗動物及其實驗室是否有國家規(guī)定的資質;5. 儀器設備放置及使用環(huán)境是否符合測量項目的要求,是否能保證測定結果的準確性;6. 委托檢驗是否符合規(guī)定。典型缺陷及分析:1. 典型缺陷:某產(chǎn)品涉及藥理毒理(動物實驗)的檢驗項目,但是實驗室未配備具有相應檢驗能力的人員。缺陷分析:各種不同專業(yè)的實驗項目需要專門的業(yè)務人員進行操作,如果沒有配備具有相應專業(yè)背景或具有一定工作經(jīng)驗的人員,就很難保證實驗結果的準確。2. 典型缺陷:放置分析天平的實驗臺無有效的防震措施。缺陷分析:放置天平的實驗臺及天平與實驗臺的接觸必須足夠穩(wěn)定,確保...
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1、臨時設施:主要包括辦公設施、物料倉庫、產(chǎn)品加工場地、生物制藥工程裝修人員的住宿安排、臨時用電、臨時用水等設施。2、技術進行準備:主要內容包括裝修設計圖紙、裝修公司組織、裝修方案、現(xiàn)場裝修條件及環(huán)境、產(chǎn)品以及運輸發(fā)展方式和吊裝方式等工作。3、材料準備:主要包括裝修材料,如前期凈化工程的裝修工具、裝修材料、成品、半成品、零部件等。4、組織結構安排:無塵車間施工廠家各種現(xiàn)場考核制度和監(jiān)督作用機制等各項人員和制度的安排。5、空氣過濾效果好,能有效控制粉塵顆粒的產(chǎn)生,避免二次污染。6、建筑工程結構進行密封良好、隔音隔噪性能好,安裝一個堅實,外觀設計處理美觀、材料以及表面光滑不產(chǎn)塵、不積塵。7、要確保車間內壓力,根據(jù)規(guī)范調節(jié),避免車間內的空氣潔凈度受到外氣干擾。8、施工中有效控制靜電,保證生產(chǎn)質量。9、系統(tǒng)進行設計一個合理、可以通過有效的保護設備管理運行壽命,降低故障維修頻率,運行發(fā)展經(jīng)濟節(jié)能。免責聲明:以上內容源于網(wǎng)絡,版權歸原作者所有,如涉及作品版權問題,請您告知我們將及時處理!
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一、GMP生產(chǎn)工廠的廠址選擇,應根據(jù)下列原則,并經(jīng)技術經(jīng)濟方案比較后確定1.應在大氣含塵、含菌濃度低,無有害氣體,自然環(huán)境好,對產(chǎn)品質量無有害因素,衛(wèi)生條件較好的區(qū)域。2.應遠離鐵路、碼頭、機場、交通要道以及散發(fā)大量粉塵和有害氣體的工廠(如化工廠、染料廠及屠宰廠等)、貯倉、堆場等有嚴重空氣污染、水質污染、振動和噪音干擾的區(qū)域。如不能遠離嚴重空氣污染區(qū),則應位于其最大頻率風向上風側,或全年最小頻率風向下風側。3.排水良好,應無洪水淹沒危險。4.目前和可預見的市政區(qū)域規(guī)劃,不會使廠址環(huán)境產(chǎn)生不利于產(chǎn)品質量的影響。5.水、電、燃料、排污、物資供應和公用服務條件較好或所存在的問題在目前和今后發(fā)展時能有效、妥善地解決。二、GMP生產(chǎn)工廠的總平面布置(即總圖)應根據(jù)下列原則,并經(jīng)技術經(jīng)濟方案比較后確定1.GMP生產(chǎn)工廠的總平面布置在遵循國家有關工業(yè)企業(yè)總體設計原則外,還應按照不對藥品生產(chǎn)產(chǎn)生污染,營造整潔的生產(chǎn)環(huán)境的原則確定。2.生產(chǎn)、行政、生活和輔助區(qū)的總體布局應合理、不得互相妨礙。3.生產(chǎn)廠房應布置在廠區(qū)環(huán)境清潔區(qū)域,廠區(qū)的地面、路面及運輸不應對藥品的生產(chǎn)造成污染。4.藥品生產(chǎn)廠房與市政交通干道之間距離不宜小于50m。5.對于兼有原料藥和制劑的藥廠,應考慮產(chǎn)品的工藝特點和防止秤時交叉污染,合理布局、間距恰當。原料藥生產(chǎn)區(qū)應置于制劑秤區(qū)的下風側,青霉素生產(chǎn)廠房的設置應嚴格考慮與其他產(chǎn)品的交叉...
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